Webbmeny

Produktsökning

Språk

Produkter

Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.


Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.


TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.


Nyckelfunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultrahög renhet

 ●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstånd mot termiskt material

 ●Stark vidhäftning till grafit

 ●Konform beläggningstäckning

 ● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)


Ansökningar:

 ●Waferbärare

 ● Induktiv värmemottagare

 ● Resistivt värmeelement

 ●Satellitskiva

 ●Duschhuvud

 ●Styrring

 ●LED Epi-mottagare

 ●Insprutningsmunstycke

 ●Maskeringsring

 ● Värmesköld


Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga 0.3
Termisk expansionskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhet (HK) 2000 HK
Motstånd 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstorleken ändras -10~-20um
Beläggningstjocklek ≥20um typiskt värde (35um±10um)


TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC beläggning kristallstruktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Genomsnitt
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TaC-belagd ring för PVT-tillväxt av SiC-enkristall

TaC-belagd ring för PVT-tillväxt av SiC-enkristall

Som en av de ledande leverantörerna av TaC-beläggningsprodukter i Kina kan VeTek Semiconductor förse kunderna med specialanpassade delar av TaC-beläggning av hög kvalitet. TaC-belagd ring för PVT-tillväxt av SiC-enkristall är en av VeTek Semiconductors mest framstående och mogna produkter. Det spelar en viktig roll i PVT-tillväxten av SiC-kristallprocessen och kan hjälpa kunder att odla SiC-kristaller av hög kvalitet. Ser fram emot din förfrågan.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad

CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad

VeTek Semiconductor har upplevt många år av teknisk utveckling och har bemästrat den ledande processteknologin för CVD TaC-beläggning. CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad är en av VeTek Semiconductors mest mogna CVD TaC-beläggningsprodukter och är en viktig komponent för framställning av SiC-kristaller med PVT-metoden. Med hjälp av VeTek Semiconductor tror jag att din SiC-kristallproduktion kommer att bli smidigare och effektivare.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
Tantalkarbidbeläggningsring

Tantalkarbidbeläggningsring

VeTek halvledartantalkarbidbeläggningsring är en oumbärlig komponent i halvledarindustrin, speciellt vid etsning av SiC-skivor. Dess kombination av en grafitbas och TaC-beläggning säkerställer överlägsen prestanda i höga temperaturer och kemiskt aggressiva miljöer. Med sin förbättrade termiska stabilitet, korrosionsbeständighet och mekaniska styrka hjälper Tantalkarbidringen halvledartillverkare att uppnå precision, tillförlitlighet och högkvalitativa resultat i sina produktionsprocesser.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
TaC beläggningsring

TaC beläggningsring

TAC-beläggningsring är en högpresterande komponent utformad för användning i halvledarprocesser, Vetek halvledar TAC-beläggningsring har hög termisk stabilitet, resistens mot kemisk korrosion och utmärkt mekanisk styrka och används specifikt för att hålla och stödja SIC-skivor under etsningsprocessen, där exakt kontroll och hållbarhet är avgörande för att uppnå högkvalitativa skivor. Vi ser fram emot ditt ytterligare samråd.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
TaC beläggningsdegel

TaC beläggningsdegel

Som en professionell TAC -beläggning av degelleverantören och tillverkaren i Kina spelar Vetek Semiconductors TAC -beläggning av Crucible en oföränderlig roll i enstaka kristalltillväxtprocessen för halvledare med dess utmärkta värmeledningsförmåga, enastående kemisk stabilitet och förbättrad korrosionsbeständighet. Välkomna dina ytterligare förfrågningar.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
Tantalkarbidbelagd styrring

Tantalkarbidbelagd styrring

Som en ledande leverantör och tillverkare av TaC-beläggningsstyrringar i Kina är VeTek Semiconductor tantalkarbidbelagd styrring en viktig komponent som används för att styra och optimera flödet av reaktiva gaser i PVT-metoden (Physical Vapor Transport). Det främjar den enhetliga avsättningen av SiC-enkristaller i tillväxtzonen genom att justera fördelningen och hastigheten på gasflödet. VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av TaC-beläggningsstyrringar i Kina och till och med i världen, och vi ser fram emot din konsultation.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
Som en professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att möta de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerade och hållbara Tantalkarbidbeläggning tillverkade i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.
Nyheter Rekommendationer
Halvledarprocess: Chemical Vapor Deposition (CVD)
Halvledarprocess: Chemical Vapor Deposition (CVD)Visa mer >>
De fyra mest kraftfulla grafittillverkarna i världen - Vetek
De fyra mest kraftfulla grafittillverkarna i världen - VetekVisa mer >>
Varför sticker 3C-SiC ut bland många SiC-polymorfer? - VeTek Semiconductor
Varför sticker 3C-SiC ut bland många SiC-polymorfer? - VeTek SemiconductorVisa mer >>
Hur uppnår man högkvalitativ kristalltillväxt? - SiC kristalltillväxtugn
Hur uppnår man högkvalitativ kristalltillväxt? - SiC kristalltillväxtugnVisa mer >>
Principer och teknik för fysisk ångavsättning (PVD) beläggning (2/2) - VeTek Semiconductor
Principer och teknik för fysisk ångavsättning (PVD) beläggning (2/2) - VeTek SemiconductorVisa mer >>
Applicering av kolbaserade termiska fältmaterial i kiselkarbidkristalltillväxt
Applicering av kolbaserade termiska fältmaterial i kiselkarbidkristalltillväxtVisa mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept