TAC -belagd grafithandbok

TAC (Tantalum -karbid) belagd grafitguidering är en kritisk komponent som används vid halvledartillverkning, särskilt i processer som epitaxial deposition och plasma etsning. Dessa ringar är utformade för att säkert hålla och placera kiselskivor, vilket säkerställer exakt anpassning och stabilitet under högtemperatur och hårda kemiska miljöer. Våra guidringar är konstruerade för att möta de stränga kraven från modern halvledartillverkning, vilket hjälper till att förbättra processutbytet och skivkvalitet.

Materialkomposition och fysiska egenskaper

Kärnan i vår TAC-belagda grafitguidering är en grafitring med hög renhet, som sedan är belagd med ett lager av tantalkarbid (TAC).

Grafitunderlag:

Grafiten ger flera viktiga fördelar. Den har utmärkt termisk stabilitet, motståndande deformation vid de höga temperaturerna som är vanliga vid halvledarbearbetning. Dess lätta natur minimerar termisk massa, vilket möjliggör snabb uppvärmning och kylningscykler. Grafit med hög renhet förhindrar också förorening av processkammaren.

CVD TAC -beläggning:

Tantal -karbidbeläggningen är nyckeln till ringens överlägsna prestanda. TAC är ett extremt hårt keramiskt material som erbjuder exceptionell slitstyrka och kemisk inerthet. Den skyddar den underliggande grafiten från aggressiv plasma och frätande gaser, vilket avsevärt förlänger ringens livslängd. Denna beläggning förhindrar också partiklar från att tappa, vilket är avgörande för att upprätthålla en ren processmiljö och förhindra defekter på skivytan.

Guidringarnas roll i skivbehandling

Vår TAC -belagda guidring spelar en viktig roll för att säkerställa kvaliteten och effektiviteten på halvledarskapning.

● Wafer -inriktning och stabilitet: Under epitaxiell tillväxt eller etsning har styrringen skivan i en exakt position. Detta förhindrar att skivan växlar, vilket är viktigt för avsättning av enhetlig skikt och korrekt mönsteröverföring över hela skivytan.

● Termisk hantering: De termiska egenskaperna hos grafit- och tantalens karbidbeläggning möjliggör effektiv värmefördelning och hantering. Detta är avgörande för att upprätthålla en enhetlig temperaturprofil över skivan, vilket är nödvändigt för konsekvent filmtjocklek och materialegenskaper.

● Föroreningskontroll: Material med hög renhet och den hållbara TAC-beläggningen minimerar partikelproduktion och utgasning. Detta minskar risken för skivföroreningar och defekter, vilket leder till högre utbyte och tillförlitlighet.

● Utökad komponentlivslängd: Den robusta tantalens karbidbeläggning ger utmärkt resistens mot plasmaerosion och kemisk attack. Detta förlänger den operativa livslängden för guidringen, minskar underhållsstopp och sänker den totala ägandekostnaden.