Produkter

Vår kiselkarbid (SIC) robotarm är utformad för högpresterande skivhantering i avancerad halvledartillverkning. Denna robotarm är gjord av hög renhets kiselkarbid och erbjuder enastående motstånd mot höga temperaturer, plasmakorrosion och kemisk attack, vilket säkerställer tillförlitlig drift i att kräva renrumsmiljöer. Dess exceptionella mekaniska styrka och dimensionella stabilitet möjliggör exakt skivhantering samtidigt som föroreningsrisker minimeras, vilket gör det till ett idealiskt val för MOCVD, epitaxy, jonimplantation och andra kritiska skivhanteringsapplikationer. Vi välkomnar dina förfrågningar.

Veteksemicon är specialiserad på att tillhandahålla anpassade kvartsskivliga båtprodukter för halvledarindustrin. Vår produktlinje inkluderar halvledare smält kvartsglasbåtar, kvarts diffusionsbåtar och anpassade kvartsgödningsbåtar, allmänt används i högprecisionsprocesser såsom diffusion, oxidation och CVD. Veteksemicon insisterar på att tillhandahålla omfattande anpassade tjänster av produkter och teknik. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

Vetekemicon Sic Wafer-båtar används ofta i kritiska högtemperaturprocesser i halvledartillverkning, som fungerar som pålitliga bärare för oxidation, diffusion och glödgningsprocesser för kiselbaserade integrerade kretsar. De utmärker sig också inom tredje generationens halvledarsektor, perfekt lämpad för krävande processer såsom epitaxial tillväxt (EPI) och metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD) för SIC- och GAN-kraftanordningar. De stöder också hög temperaturtillverkning av högeffektiva solceller i den fotovoltaiska industrin. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

CVD SIC-belagda grafitduschhuvud från Veteksemicon är en högpresterande komponent som är speciellt utformad för halvledarens kemiska ångavlagringsprocesser (CVD). Tillverkad av grafit med hög renhet och skyddad med en kemisk ångavlagring (CVD) kiselkarbid (SIC) beläggning, ger detta duschhuvud enastående hållbarhet, termisk stabilitet och resistens mot frätande processgaser. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

Kvartsduschhuvudet, även känt som en kvarts gasfördelningsplatta, är en kritisk komponent som används i halvledarens tunnfilmavlagringsprocesser såsom CVD (deponering av kemisk ång), PECVD (plasma-förbättrad CVD) och ALD (atomskiktavsättning). Tillverkad av hög renhet smält kvarts, säkerställer denna komponent ultra-låg förorening och utmärkt termisk stabilitet, vilket möjliggör exakt gasleverans och enhetlig filmtillväxt över skivytan. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

Våra TAC-belagda grafitguidringar är precisionskärnkomponenter för tillverkning av halvledarskivor. De har en grafitunderlag med hög renhet med en slitstöd och kemiskt inert tantalkarbid (TAC) beläggning. De är designade för krävande processer såsom epitaxial deponering och plasma -etsning och säkerställer exakt skivinriktning och stabilitet, kontrollerar effektivt föroreningar och förlänger komponentlivslängden betydligt. Veteksemicon erbjuder anpassningstjänster för att perfekt matcha din utrustning och processkrav.