Produkter

Veteksemicon kvartsdeglar av halvledarkvalitet är viktiga förbrukningsvaror i Czochralskis enkristalltillväxtprocess. Med extrem renhet och överlägsen termisk stabilitet som vårt kärnfokus, är vi angelägna om att förse kunder med högkvalitativa produkter som uppvisar stabil prestanda och utmärkt motståndskraft mot kristallisation under hög temperatur och högt tryck miljöer. Detta säkerställer kvaliteten på kristallstavarna från källan, vilket hjälper tillverkning av halvledarkiselwafer att uppnå högre avkastning och bättre kostnadseffektivitet.

Veteksemicon fokusring är designad speciellt för krävande halvledaretsningsutrustning, speciellt SiC-etsningsapplikationer. Monterad runt den elektrostatiska chucken (ESC), i nära anslutning till skivan, är dess primära funktion att optimera det elektromagnetiska fältfördelningen i reaktionskammaren, vilket säkerställer enhetlig och fokuserad plasmaverkan över hela skivans yta. En högpresterande fokusring förbättrar avsevärt enhetligheten i etsningshastigheten och minskar kanteffekterna, vilket direkt ökar produktutbytet och produktionseffektiviteten.

Veteksemicon Silicon Carbide Carrier Plate For LED Etching, speciellt designad för LED-chiptillverkning, är en kärna förbrukningsvara i etsningsprocessen. Tillverkad av precisionssintrad kiselkarbid med hög renhet, erbjuder den exceptionell kemisk beständighet och dimensionsstabilitet vid hög temperatur, vilket effektivt motstår korrosion från starka syror, baser och plasma. Dess låga kontamineringsegenskaper säkerställer höga utbyten för LED-epitaxiella wafers, medan dess hållbarhet, som vida överstiger traditionella material, hjälper kunderna att minska de totala driftskostnaderna, vilket gör det till ett pålitligt val för att förbättra effektiviteten och konsistensen av etsningsprocessen.

Veteksemicon grafitbåt för PECVD är precisionsbearbetad av högren grafit och designad speciellt för plasmaförbättrade kemiska ångavsättningsprocesser. Genom att utnyttja vår djupa förståelse för termiska halvledarfältmaterial och precisionsbearbetningsmöjligheter, erbjuder vi grafitbåtar med exceptionell värmestabilitet, utmärkt ledningsförmåga och lång livslängd. Dessa båtar är designade för att säkerställa mycket enhetlig tunnfilmsavsättning över varje wafer i den krävande PECVD-processmiljön, vilket förbättrar processutbytet och produktiviteten.

Den CVD TaC-belagda grafitringen från Veteksemicon är konstruerad för att möta de extrema kraven för bearbetning av halvledarwafer. Med användning av Chemical Vapor Deposition (CVD) teknologi appliceras en tät och enhetlig tantalkarbid (TaC) beläggning på grafitsubstrat med hög renhet, vilket uppnår exceptionell hårdhet, slitstyrka och kemisk tröghet. I halvledartillverkning används den CVD TaC-belagda grafitringen i stor utsträckning i MOCVD-, etsnings-, diffusions- och epitaxiella tillväxtkammare, och fungerar som en viktig strukturell eller tätande komponent för waferbärare, susceptorer och skärmningsenheter. Ser fram emot din fortsatta konsultation.

Den porösa TaC-belagda grafitringen som produceras av VETEK använder ett lätt poröst grafitsubstrat och är belagd med en tantalkarbidbeläggning med hög renhet, med utmärkt motståndskraft mot höga temperaturer, korrosiva gaser och plasmaerosion