Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultrahög renhet

●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstånd mot termiskt material

●Stark vidhäftning till grafit

●Konform beläggningstäckning

● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

●Waferbärare

● Induktiv värmemottagare

● Resistivt värmeelement

●Satellitskiva

●Duschhuvud

●Styrring

●LED Epi-mottagare

●Insprutningsmunstycke

●Maskeringsring

● Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC beläggning kristallstruktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningsmottagare CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

Tantalkarbidbelagd ring

Som en professionell innovatör och ledare för Tantalum Carbide -belagda ringprodukter i Kina spelar Vetek halvledare Tantalum Carbide Coated Ring en oföränderlig roll i SIC -kristalltillväxt med dess utmärkta höga temperaturbeständighet, slitstyrka och utmärkt värmeledningsförmåga. Välkommen din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Porös tantalkarbid

Vetek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare för Porous Tantalum Carbide -produkter i Kina. Porös tantalkarbid tillverkas vanligtvis med kemisk ångavsättning (CVD) -metod, vilket säkerställer exakt kontroll av dess porstorlek och distribution och är ett materialverktyg som är dedikerat till extrema miljöer med hög temperatur. Välkommen din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC beläggningsguide

Vetek Semiconductors TAC Coating Guide Ring skapas genom att applicera tantalkarbidbeläggning på grafitdelar med hjälp av en mycket avancerad teknik som kallas kemisk ångavsättning (CVD). Denna metod är väl etablerad och erbjuder exceptionella beläggningsegenskaper. Genom att använda TAC -beläggningsguidringen kan livslängden för grafitkomponenter förlängas avsevärt, rörelsen av grafitföroreningar kan undertryckas och SIC och AIN enstaka kristallkvalitet kan pålitligt upprätthållas. Välkommen till förfrågan oss.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Tantalkarbidring

Som en avancerad tillverkare och producent av Tantalum Carbide Ring -produkter i Kina har Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Ring extremt hög hårdhet, slitbeständighet, hög temperaturbeständighet och kemisk stabilitet och används allmänt inom halvledartillverkningsfältet. Speciellt i CVD, PVD, jonimplantationsprocess, etsningsprocess och skivbehandling och transport är det en oundgänglig produkt för halvledarbearbetning och tillverkning. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Tantal Carbide Coating Support

Som en professionell Tantalum Carbide Coating Support Product -tillverkare och fabrik i Kina används Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support vanligtvis för ytbeläggning av strukturella komponenter eller stödkomponenter i halvledarutrustning, särskilt för ytskydd av viktiga utrustningskomponenter i halvledarprocesser såsom CVD och PVD. Välkommen din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Tantalkarbidguide

Vetek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare för Tantalum Carbide Guide Ring -produkter i Kina. Vår Tantal Carbide (TAC) styrring är en högpresterande ringkomponent tillverkad av tantalkarbid, som vanligtvis används i halvledarbearbetningsutrustning, särskilt i högtemperatur och mycket frätande miljöer som CVD, PVD, etsning och diffusion. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknik och produktlösningar för halvledarindustrin och välkomnar dina ytterligare förfrågningar.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Tantalkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Tantalkarbidbeläggning

Nyckelfunktioner:

Ansökningar:

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

TaC-beläggning EDX-data：

TaC beläggning kristallstruktur data:

Tantalkarbidbelagd ring

Porös tantalkarbid

TAC beläggningsguide

Tantalkarbidring

Tantal Carbide Coating Support

Tantalkarbidguide

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress