Material & Design

Att välja den matchade kombinationen av substrat och beläggning är nyckeln till att förhindra för tidigt komponentfel, minska partikelkontamination och maximera skivutbytet. Vi tillhandahåller skräddarsydda material och strukturella designlösningar kring kundens specifika processfönster (driftstemperatur, reaktiv gaskemi, ramphastigheter).

Våra kärndesignegenskaper:

• Rigorös CTE-stressmatchning:För snabb termisk cykling (>100 °C/min) matchar vi CTE-temperaturkurvorna för grafitsubstrat med hög renhet och CVD-beläggningar, vilket i grunden minskar risken för beläggningsdelaminering och mikrosprickor.
• Process-scenario-specifikt val av beläggning:CVD SiC-beläggning för Si/SiC-epitaxi (Epi), MOCVD och plasmaetsningsmiljöer; CVD TaC-beläggning för högre temperaturer och starkt korrosiva förhållanden (t.ex. SiC enkristall PVT-tillväxt).
• Optimering av kontrollerbar resistivitet och värmeledningsförmåga:Exakt kontroll av bulkresistivitet och värmeledningsförmåga hos substrat och beläggning för att möta specifika elektriska och termiska fältkrav för RF, ESC elektrostatiska chuckar eller värmezoner.
• Kontamineringskällakontroll och CoO-minskning:CVD-avsättningsskikt med hög renhet tätar tätt porös grafit, vilket avsevärt minskar partikelavgivningen, diffusion av ultraspårmetallföroreningar och risk för avgasning vid hög temperatur.

Typisk jämförelse av val av beläggning (översiktsguide)

Verkliga fall och kundfördelar (erfarenhet):

En ledande tillverkare av SiC epitaxi (Epi):Den ursprungliga komponenten använde en felaktig CVD TaC-beläggning, vilket resulterade i överdriven gränsytspänning och frekventa mikrosprickor vid hög temperatur. Vi körde om termodynamiska simuleringar och bytte till enCTE-matchat specialgrafitsubstrat med hög renhet + buffertskikt + CVD SiC-beläggninglösning. Resultat: genomsnittlig komponentlivslängd ökade från 200 timmar till 850 timmar; den årliga utbytesfrekvensen per verktyg minskade från 40 till 9 gånger; Omfattande utrustning O&M kostnadsbesparingar översteg RMB 650 000 per år.

GDMS-renhetsanalysrapport för TaC- och SiC-beläggningar

FAQ

Starta din exklusiva tjänst nu