Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultrahög renhet

●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstånd mot termiskt material

●Stark vidhäftning till grafit

●Konform beläggningstäckning

● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

●Waferbärare

● Induktiv värmemottagare

● Resistivt värmeelement

●Satellitskiva

●Duschhuvud

●Styrring

●LED Epi-mottagare

●Insprutningsmunstycke

●Maskeringsring

● Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC beläggning kristallstruktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningsmottagare CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

TAC -beläggningsrotationssusceptor

Som professionell tillverkare, innovatör och ledare för TAC Coating Rotation Susceptor -produkter i Kina. Vetek Semiconductor TAC Coating Rotation Susceptor installeras vanligtvis i kemisk ångavsättning (CVD) och molekylär strålepitaxy (MBE) -utrustning för att stödja och rotera skivor för att säkerställa enhetlig materialavsättning och effektiv reaktion. Det är en nyckelkomponent i halvledarbehandling. Välkommen din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD TAC -beläggningsområde

Vetek Semiconductor är en professionell tillverkare och ledare för CVD TAC Coating Crucible -produkter i Kina. CVD TAC -beläggning av Crucible är baserad på tantal kol (TAC) beläggning. Tantalens kolbeläggning är jämnt täckt på ytan av degeln genom kemisk ångavlagringsprocess (CVD) för att förbättra dess värmemotstånd och korrosionsbeständighet. Det är ett materialverktyg som speciellt används i extrema miljöer med hög temperatur. Välkommen din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD TAC -beläggningsföretagare

Som en professionell CVD TAC -beläggning av skivoperatörens produkttillverkare och fabrik i Kina är Vetek Semiconductor CVD TAC Coating Wafer Carrier ett skivbärande verktyg speciellt utformat för hög temperatur och frätande miljöer i halvledartillverkning. och CVD TAC-beläggningsskivbärare har hög mekanisk styrka, utmärkt korrosionsbeständighet och termisk stabilitet, vilket ger den nödvändiga garantin för tillverkning av halvledarenheter av hög kvalitet. Dina ytterligare förfrågningar är välkomna.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TaC beläggningsvärmare

VeTek Semiconductor TaC Coating Heater har en extremt hög smältpunkt (ca 3880°C). Den höga smältpunkten gör att den kan arbeta vid extremt höga temperaturer, särskilt vid tillväxten av galliumnitrid (GaN) epitaxiella skikt i processen för metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD). VeTek Semiconductor har åtagit sig att förse kunderna med skräddarsydda produktlösningar. Vi ser fram emot att höra från dig.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD TAC beläggning

VeTek Semiconductor är Kinas ledande tillverkare av CVD TAC-beläggningsprodukter. Under många år har vi fokuserat på olika CVD TAC Coating produkter som CVD TaC beläggningsskydd, CVD TaC Coating Ring. VeTek Semiconductor stödjer kundanpassade produkttjänster och tillfredsställande produktpriser, och ser fram emot din fortsatta konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC -belagd chuck

Med sin höga temperaturmotstånd, kemisk inerthet och utmärkt prestanda är Vetek Semiconductors TAC -belagda chuckar utformade för halvledarugnar. Vi tror att våra produkter kan ge dig avancerad teknik och kvalitetsproduktlösningar.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Tantalkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Tantalkarbidbeläggning

Nyckelfunktioner:

Ansökningar:

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

TaC-beläggning EDX-data：

TaC beläggning kristallstruktur data:

TAC -beläggningsrotationssusceptor

CVD TAC -beläggningsområde

CVD TAC -beläggningsföretagare

TaC beläggningsvärmare

CVD TAC beläggning

TAC -belagd chuck

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress