Produkter

MOCVD-teknik

VeTek Semiconductor har fördelar och erfarenhet av MOCVD Technology reservdelar.

MOCVD, det fullständiga namnet på Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (metallorganisk kemisk ångdeposition), kan också kallas metallorganisk ångfasepitaxi. Organometalliska föreningar är en klass av föreningar med metall-kol-bindningar. Dessa föreningar innehåller minst en kemisk bindning mellan en metall och en kolatom. Metallorganiska föreningar används ofta som prekursorer och kan bilda tunna filmer eller nanostrukturer på substratet genom olika deponeringstekniker.

Metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD-teknik) är en vanlig epitaxiell tillväxtteknologi, MOCVD-teknik används i stor utsträckning vid tillverkning av halvledarlasrar och lysdioder. Speciellt vid tillverkning av lysdioder är MOCVD en nyckelteknologi för produktion av galliumnitrid (GaN) och relaterade material.

Det finns två huvudformer av epitaxi: Liquid Phase Epitaxi (LPE) och Vapor Phase Epitaxi (VPE). Gasfasepitaxi kan vidare delas in i metall-organisk kemisk ångdeposition (MOCVD) och molekylär strålepitaxi (MBE).

Utländska utrustningstillverkare är främst representerade av Aixtron och Veeco. MOCVD-systemet är en av nyckelutrustningarna för tillverkning av lasrar, lysdioder, fotoelektriska komponenter, kraft, RF-enheter och solceller.

Huvuddragen hos MOCVD-teknologins reservdelar tillverkade av vårt företag:

1) Hög densitet och full inkapsling: grafitbasen som helhet befinner sig i en hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö, ytan måste vara helt omslagen och beläggningen måste ha god förtätning för att spela en bra skyddande roll.

2) Bra ytplanhet: Eftersom grafitbasen som används för enkristalltillväxt kräver en mycket hög ytplanhet, bör basens ursprungliga planhet bibehållas efter att beläggningen preparerats, det vill säga beläggningsskiktet måste vara enhetligt.

3) Bra bindningsstyrka: Minska skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan grafitbasen och beläggningsmaterialet, vilket effektivt kan förbättra bindningsstyrkan mellan de två, och beläggningen är inte lätt att spricka efter att ha upplevt hög och låg temperaturvärme cykel.

4) Hög värmeledningsförmåga: högkvalitativ spåntillväxt kräver att grafitbasen ger snabb och jämn värme, så beläggningsmaterialet bör ha en hög värmeledningsförmåga.

5) Hög smältpunkt, hög temperatur oxidationsbeständighet, korrosionsbeständighet: beläggningen ska kunna fungera stabilt i hög temperatur och korrosiv arbetsmiljö.



Placera 4 tums substrat
Blågrön epitaxi för odling av LED
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern
Placera 4 tums substrat
Används för att odla UV LED epitaxial film
Inrymt i reaktionskammaren
Direktkontakt med wafern
Veeco K868/Veeco K700 Maskin
Vit LED-epitaxi/Blågrön LED-epitaxi
Används i VEECO-utrustning
För MOCVD-epitaxi
SiC Coating Susceptor
Aixtron TS-utrustning
Djup ultraviolett epitaxi
2-tums substrat
Veeco utrustning
Röd-Gul LED Epitaxi
4-tums wafersubstrat
TaC-belagd susceptor
(SiC Epi/UV LED-mottagare)
SiC-belagd susceptor
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD-susceptor)


View as  
 
MOCVD SiC-belagd susceptor

MOCVD SiC-belagd susceptor

VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor är en precisionskonstruerad bärarlösning speciellt utvecklad för LED- och sammansatt halvledar-epitaxial tillväxt. Den visar exceptionell termisk enhetlighet och kemisk tröghet i komplexa MOCVD-miljöer. Genom att utnyttja VETEK:s rigorösa CVD-deponeringsprocess är vi fast beslutna att förbättra konsistensen av wafertillväxt och förlänga livslängden för kärnkomponenter, vilket ger stabil och pålitlig prestandaförsäkran för varje parti av din halvledarproduktion.
Sic belagd planetarisk susceptor

Sic belagd planetarisk susceptor

Vår SIC -belagda planetariska Susceptor är en kärnkomponent i den höga temperaturprocessen för halvledartillverkning. Dess design kombinerar grafitunderlag med kiselkarbidbeläggning för att uppnå omfattande optimering av termisk hanteringsprestanda, kemisk stabilitet och mekanisk styrka.
Sic belagd djup UV LED -susceptor

Sic belagd djup UV LED -susceptor

SIC -belagda djupa UV -LED -susceptor är designad för MOCVD -process för att stödja effektiv och stabil djup UV -LED -epitaxial skikttillväxt. Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av SIC -belagda djupa UV -LED -susceptor i Kina. Vi har rik erfarenhet och har etablerat långsiktiga kooperativa relationer med många LED-epitaxiella tillverkare. Vi är den bästa inhemska tillverkaren av Susceptor-produkter för lysdioder. Efter flera års verifiering är vår produktlivslängd i nivå med den för de bästa internationella tillverkarna. Ser fram emot din förfrågan.
LED Epitaxy Providence

LED Epitaxy Providence

Vetek Semiconductors LED Epitaxy Susceptor är designad för blå och grön LED -epitaxial tillverkning. Den kombinerar kiselkarbidbeläggning och SGL -grafit och har hög hårdhet, låg grovhet, god termisk stabilitet och utmärkt kemisk stabilitet. LED Epitaxy Susceptor är en av Vetek Semiconductors mest framstående produkter. Vi ser fram emot din förfrågan.
Veeco ledde EP

Veeco ledde EP

Vetek Semiconductors Veeco LED EPI Susceptor är utformad för epitaxiell tillväxt av röda och gula lysdioder. Avancerade material och CVD SIC -beläggningsteknik säkerställer termisk stabilitet hos SUSCOTECTOR, vilket gör temperaturfältet enhetligt under tillväxt, minskar kristalldefekter och förbättrar kvaliteten och konsistensen hos epitaxiala skivor. Den är kompatibel med Veecos epitaxial tillväxtutrustning och kan sömlöst integreras i produktionslinjen. Exakt design och pålitlig prestanda hjälper till att förbättra effektiviteten och minska kostnaderna. Ser fram emot dina förfrågningar.
Sic belagd grafitfat susceptor

Sic belagd grafitfat susceptor

Vetek Semiconductor Sic Coated Graphite Barrel Susceptor är en högpresterande skivfack utformad för halvledarens epitaxiprocesser, som erbjuder utmärkt värmeledningsförmåga, hög temperatur och kemisk resistens, en hög renhetsyta och anpassningsbara alternativ för att förbättra produktionseffektivitet. Välkommen din ytterligare förfrågan.
Som professionell MOCVD-teknik tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar MOCVD-teknik tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.
X
Vi använder cookies för att ge dig en bättre webbupplevelse, analysera webbplatstrafik och anpassa innehåll. Genom att använda denna sida godkänner du vår användning av cookies. Sekretesspolicy
Avvisa Acceptera