TAC -beläggning av sockelstödplattan

Vetek Semiconductor är China Manufacturer & Leverantör som huvudsakligen producerar CVD TAC -beläggning av susceptorer, inloppsring, skiva Chunck, TAC -belagd hållare, TAC -beläggning av sockelstödplattan med många års erfarenhet. Hoppas att bygga affärsrelationer med dig.

TAC -keramik har en smältpunkt på upp till 3880 ℃, hög hårdhet (Mohs hårdhet 9 ~ 10), stor värmeledningsförmåga (22W · m^-1· K⁻¹), stor böjstyrka (340 ~ 400MPa) och liten värmekoefficient (6,6 × 10⁻⁶K⁻¹) och visa utmärkt termokemisk stabilitet och utmärkta fysiska egenskaper. Den har god kemisk och mekanisk kompatibilitet med grafit- och c/c -kompositmaterial, så TAC -beläggning används ofta inom flygskydd, enkelkristalltillväxt och epitaxialreaktorer som AIXTRON, LPE EPI -reaktor inom halvledarindustrin. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related epitaxial skivor. Det är särskilt lämpligt för att odla GaN eller ALN -kristall i MOCVD -utrustning och SIC -enkristall i PVT -utrustning, och kvaliteten på den enskilda kristallen är uppenbarligen förbättrad.