Hur väljer jag MOCVD -grafitfack?

Fråga 1: Vad är MOCVD -grafitfack och varför är det så viktigt för den epitaxiala processen?

Metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD) grafitplatta, även känd som MOCVD-grafitfack eller MOCVD-grafit-susceptor, är en komponent med hög renhet som används för att fixa halvledarskivor under epitaxial tillväxt. I den epitaxiala processen fungerar den som ett värmeelement och säkerställer enhetlig temperaturfördelning, som spelar en oerättlig roll i deponering av tunna filmer i applikationer som avancerade halvledarenheter, LED -tillverkning och solceller.

Grafitfack kan motstå extrema temperaturer (upp till 1 800 ° C) och frätande gasmiljöer, vilket gör det till ett oundgängligt material för högtemperatur, korrosionsbeständiga MOCVD-system. Dess prestanda påverkar direkt processens konsistens och skivutbyte.

Fråga 2: Vilka materialegenskaper bör prioriteras när du väljer MOCVD -grafitbrickor?

Att välja rätt grafitplatta kräver utvärdering av dess fysiska och kemiska egenskaper:

● Hög renhet (över 99.999%):

Vanligtvis kan föroreningar som metaller eller aska förorena den epitaxiala processen. Att välja en högrenad grafit Susceptor-leverantör som Veteksemicon säkerställer minimala defekter i halvledarens epilager.

●  Utmärkt termisk stabilitet:

Under faktisk bearbetning måste grafitplattor kunna motstå vissa termiska stötar och upprätthålla strukturell integritet under snabba temperaturcykler. Vetekemicon Högdensitet grafit säkerställer enhetlig värmefördelning, vilket är avgörande för enhetlig filmtillväxt.

●  Utmärkt korrosionsmotstånd:

I MOCVD -processmiljön utsätts grafit vanligtvis för frätande gaser (t.ex. ammoniak, väte). Högtemperaturkorrosionsbeständiga MOCVD-grafitplattor med finkornig struktur minimerar korrosion och förlänger livslängden.

●  Högpresterande mekanisk styrka:

I den epitaxiala processen måste MOCVD -grafitbrickor stödja flera skivor utan vridning. Enligt Veteksemicons statistik i den faktiska bearbetningen måste grafitplattans böjningsstyrka vara ≥50 MPa för att förhindra sprickbildning av magasinet.

F3: Hur påverkar applikationsscenariot valet av MOCVD -grafitbrickor?

Olika MOCVD -processer kräver skräddarsydda grafitplattkonstruktioner:

●  Epitaxial tillväxt av LED/fotonik:

Ultra-smidig MOCVD-grafitplattor används i epitaxiprocessen för att minska partikelproduktionen och säkerställa defektfria skikt.

Till exempel är Veteksemicon MOCVD -grafitplattor (eller Veteksemicon -grafitplattor för MOCVD) utformade för GaN- och GaAs -epitaxi och ger optimerad termisk hantering.

●  Power Semiconductor Manufacturing:

I kombination med Semikera halvledares experimentella statistik föredras plattor med förbättrad oxidationsbeständighet i allmänhet för kiselkarbid (SIC) eller galliumnitridprocesser (GaN).

●  Produktion med hög kapacitet:

Multi-wafer-brickor kräver exakt bearbetning för att anpassa sig till reaktorkonstruktionen. Anpassningsbara MOCVD -grafitbrickor från tillförlitlig leverantör Semikera halvledare kan matcha specifika verktygskonfigurationer.

F4: Vilka är de viktigaste övervägandena för att hitta en pålitlig MOCVD -grafitplattleverantör?

●  Certifiering och testning:

Kontrollera att leverantören tillhandahåller materialcertifiering (t.ex. renhetsrapport, densitetstest) och tillhandahåller efterbehandling av ytbehandling (t.ex. beläggning för att minska porositeten). Som en ledande kinesisk halvledarbeläggning och tillverkare av epitaxial processutrustning har Veteksemicon MOCVD -grafitplattor certifierats av myndigheterna för rigorösa gränsexperiment, och renhets- och täthetstestresultaten för dess produkter ligger långt före dess kamrater.

●  Anpassningsfunktioner:

Topp med hög renhet grafit Susceptor-leverantörer bör anpassa storleken, hålmönstret och beläggningen för att uppfylla dina reaktorkrav. Både Veteksemicon och Semikera Semiconductor har anpassningstjänstfunktioner för relaterade produkter och tekniker och är fullt kapabla att tillgodose dina olika anpassade behov.

●  Livslängd och kostnadseffektivitet:

Medan billigare grafit kan spara kostnader i förväg, kommer sämre grafitplattor att leda till ofta ersättning och driftstopp, vilket allvarligt påverkar normal produktionseffektivitet. Att välja Vetekemicon-grafitplattor och andra kvalitetsprodukter gör det möjligt för ditt företag att uppnå långsiktig tillförlitlig produktion.

F5: Hur förlänger man livslängden för MOCVD -grafitbrickor?

●  Förhindra oxidation: Använd inert gasrening under uppvärmnings-/kylcykler.

●  Rengör regelbundet: Använd icke-abrasiva metoder (såsom torr etsning) för att avlägsna avsatta rester.

●  Undvik mekanisk stress: Hantera brickan noggrant under skivbelastning/lossning.

Veteksemicons bästa råd till dig:

För MOCVD-grafitplattor som är resistenta mot korrosion med hög temperatur, prioritera leverantörer med expertis inom halvledarmaterial.

Testprover under faktiska processförhållanden för att verifiera prestanda.

Utforska avancerade beläggningar (som SIC -beläggning, TAC -beläggning) för att förbättra hållbarhet och tillförlitlighet i extrema miljöer.

För mer information om SIC -beläggning MOCVD -grafitplatta, klicka här.

För mer information om TAC -beläggning MOCVD -grafitplatta, klicka här.