Porös tantalkarbid (TaC) belagd grafitring

Produktegenskaper

• Kärnutrustning:Avsedd för SiC enkristalltillväxtugnar som arbetar med PVT-teknik.
• Primär tillämpning:Lämplig för termiska fältsystem i tredje generationens halvledar-SiC-kristalltillväxt.
• Stabilitet vid hög temperatur:TaC-beläggningen behåller strukturell integritet under ultrahöga temperaturer, vilket stöder utökad drift i krävande termiska miljöer.
• Korrosionsskydd:Det täta CVD TaC-skiktet skyddar grafitsubstratet från kiselånga, kolhaltiga gaser och andra korrosiva arter som påträffas under SiC-tillväxt.
• Termisk fältprestanda:Den porösa grafitbasen hjälper till med värmedistribution och ångtransport, vilket hjälper till att upprätthålla stabila tillväxtförhållanden.
• Låg kontaminering:Utgångsmaterial med hög renhet och den täta beläggningen begränsar frigöring av föroreningar och partikelavgivning, vilket gynnar kristallkvaliteten.
• Förlängd livslängd:TaC-skiktet förbättrar oxidationsbeständighet, ythårdhet och övergripande hållbarhet vid förhöjda temperaturer.
• Beläggningsvidhäftning:CVD-processen ger en stark bindning mellan TaC-filmen och grafitsubstratet.
• Anpassade alternativ:Dimensioner, strukturella detaljer och beläggningsspecifikationer kan justeras för att matcha olika SiC-tillväxtugnskrav.

Tekniska specifikationer

Ansökningar

VETEK porösa TaC-belagda grafitringen används främst i:

• SiC enkristalltillväxt via PVT
• Tredje generationens halvledartillverkning
• SiC-substratproduktion
• Termiska fältsystem i kristalltillväxtugnar
• Högtemperaturhalvledarbearbetning
• Avancerade grafit-hot-zone-komponenter

FAQ

1. Vad är en porös TaC-belagd grafitring?

Det är en termisk fältkomponent för SiC-kristalltillväxtugnar. Den kombinerar en porös grafitstruktur med en CVD TaC-beläggning för att ge termisk hantering och skydd mot korrosion vid hög temperatur.

2. Varför använda TaC-beläggning för SiC-kristalltillväxt?

TaC ger stabilitet vid hög temperatur och kemisk beständighet. Det skyddar grafit från kiselångangrepp och hjälper till att upprätthålla en ren, stabil tillväxtmiljö.

3. Vad erbjuder den porösa grafitstrukturen?

Den porösa designen stöder termisk distribution och gastransport i ugnen, vilket bidrar till stabila SiC-kristalltillväxtförhållanden.

4. Kan VETEK producera skräddarsydda TaC-belagda grafitringar?

Ja. VETEK erbjuder anpassning baserat på kundritningar, ugnsdesigner och processbehov, inklusive dimensioner, substratkonfiguration och beläggningsparametrar.