TAC -belagd skiva Susceptor

Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Susceptor är en nyckelkomponent som används iMetallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD)reaktorer förSemiconductor Epitaxial (EPI) -processer. Denna specialiserade runda bas är tillverkad av högkvalitativ grafit och är belagd med ett lager av tantalkarbid (TAC), som är välkänd för dess exceptionella termiska och kemiska egenskaper.

Den primära funktionen för TAC -beläggningen är att förbättra prestandan och hållbarheten hos skivan susceptor under de hårda förhållandena för halvledartillverkning. Tantal Carbide är känd för sin hårdhet, höga smältpunkt och enastående slitmotstånd, vilket gör det till det perfekta skyddsskiktet. Denna beläggning skyddar den underliggande grafitbasen från de frätande kemiska reaktionerna och mekaniska spänningar som inträffar inomMOCVD -reaktorer, förlänga utrustningens livslängd och förbättra tillförlitligheten.

Under den epitaxiala tillväxten av halvledarmaterial spelar TAC -belagda skivsusceptor en viktig roll genom att säkerställa exakt filmavsättning. Dess motstånd mot höga temperaturer och hårda kemiska miljöer är avgörande för en exakt produktion av halvledarenheter, vilket gör att utrustningen kan fungera stabilt i krävande processförhållanden.

Kombinationen av engrafitkärnaochTAC -beläggningSäkerställer enhetlig värmefördelning över Susceptor, vilket är viktigt för att förbättra repeterbarheten och kvaliteten på halvledarskikt som odlas under MOCVD -processen. Denna avancerade materialdesign ger inte bara hållbarhet utan uppfyller också de stränga kraven från modern halvledartillverkning för högpresterande elektroniska komponenter.

Som en ledande leverantör och tillverkare av TAC Coated Wafer Susceptors har Vetek Semiconductor engagerat i att leverera tekniska lösningar av hög kvalitet för halvledarindustrin. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga pålitliga partner i Kina och erbjuder pålitliga, anpassade produkter.

Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Susceptor Shops: