SiC Single Crystal Growth Process Reservdelar

VeTek Semiconductors produkt, tantalkarbid (TaC) beläggningsprodukter för SiC Single Crystal Growth Process, adresserar de utmaningar som är förknippade med tillväxtgränssnittet för kiselkarbid (SiC) kristaller, särskilt de omfattande defekterna som uppstår vid kristallens kant. Genom att applicera TaC-beläggning strävar vi efter att förbättra kristalltillväxtkvaliteten och öka den effektiva arean av kristallens centrum, vilket är avgörande för att uppnå snabb och tjock tillväxt.

TaC-beläggning är en kärnteknisk lösning för att odla högkvalitativ SiC-enkristalltillväxtprocess. Vi har framgångsrikt utvecklat en TaC-beläggningsteknik som använder kemisk ångdeposition (CVD), som har nått en internationellt avancerad nivå. TaC har exceptionella egenskaper, inklusive en hög smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkt mekanisk hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termisk stöt. Den uppvisar också god kemisk tröghet och termisk stabilitet när den utsätts för höga temperaturer och ämnen som ammoniak, väte och kiselhaltig ånga.

VeTek Semiconductors tantalkarbid (TaC) beläggning erbjuder en lösning för att ta itu med kantrelaterade problem i SiC Single Crystal Growth Process, vilket förbättrar kvaliteten och effektiviteten i tillväxtprocessen. Med vår avancerade TaC-beläggningsteknologi strävar vi efter att stödja utvecklingen av tredje generationens halvledarindustri och minska beroendet av importerade nyckelmaterial.

PVT-metod SiC Reservdelar för en kristalltillväxtprocess:

TaC-belagd degel, fröhållare med TaC-beläggning, TaC-beläggningsguidering är viktiga delar i SiC- och AIN-enkristallugnar med PVT-metoden.

Nyckelfunktion:

-Hög temperaturbeständighet

-Hög renhet, kommer inte att förorena SiC-råmaterial och SiC-enkristaller.

- Beständig mot Al-ånga och N₂-korrosion

-Hög eutektisk temperatur (med AlN) för att förkorta kristallberedningscykeln.

-Återvinningsbar (upp till 200h), det förbättrar hållbarheten och effektiviteten vid beredningen av sådana enkristaller.

TaC-beläggningsegenskaper

Typiska fysikaliska egenskaper för Tac Coating

Tantalkarbidbelagd avledningsring TaC Coating Guide Ring TaC beläggningsring Tantalkarbidbelagd platta TaC-belagd chuck TaC-beläggningsrör