CVD TaC-belagd grafitring

Allmän produktinformation

Produktens affärsvillkor

Ansökan: Veteksemicon CVD TaC Coated Ring är speciellt utvecklad förSiC-kristalltillväxtprocesser. Som en viktig lastbärande komponent i högtemperaturreaktionskammaren isolerar dess unika TaC-beläggning effektivt kiselångkorrosion, förhindrar föroreningar och säkerställer strukturell stabilitet i långvariga högtemperaturmiljöer, vilket ger en pålitlig garanti för att erhålla högkvalitativa kristaller.

Tjänster som kan tillhandahållas: analys av kundapplikationsscenario, matchande material, teknisk problemlösning.

Företagsprofile：Veteksemicon har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års materialerfarenhet, med FoU och produktion, testning och verifieringskapacitet.

Min rival CVD TaC Coated Ring är en förbrukningsvara som är designad för kemisk ångavsättning vid hög temperatur och kristalltillväxt av avancerade halvledarmaterial, särskilt kiselkarbid. Vi använder en unik, optimerad kemisk ångavsättningsteknik för att avsätta en tät, enhetligtantalkarbidbeläggningpå ett grafitsubstrat med hög renhet. Med exceptionellt hög temperaturbeständighet, utmärkt korrosionsbeständighet och en extremt lång livslängd skyddar denna produkt effektivt kristallkvaliteten och minskar dina totala produktionskostnader avsevärt, vilket gör den till ett viktigt val för processer som kräver processstabilitet och högsta utbyte.

Tekniska parametrar:

Min rival CVD TaC Coated Ring kärnfördelar

Oöverträffad renhet och stabilitet

I den extrema miljön av SiC-kristalltillväxt, där temperaturen överstiger 2000°C, kan även spårföroreningar förstöra hela kristallens elektriska egenskaper. VårCVD TaC-beläggning, med sin exceptionella renhet, eliminerar i grunden kontaminering från ringen. Dessutom säkerställer dess utmärkta högtemperaturstabilitet att beläggningen inte sönderdelas, förångas eller reagerar med processgaser under långvarig högtemperatur- och termisk cykling, vilket ger en ren och stabil ångfasmiljö för kristalltillväxt.

Utmärkt korrosion ocherosionsbeständighet

Korrosion av grafit genom kiselånga är den primära orsaken till fel och partikelkontamination i traditionella grafitringar. Vår TaC-beläggning, med sin extremt låga kemiska reaktivitet med kisel, blockerar effektivt kiselånga och skyddar det underliggande grafitsubstratet från erosion. Detta förlänger inte bara ringens livslängd avsevärt utan, ännu viktigare, minskar det partikelmaterial som genereras av substratets korrosion och spjälkning avsevärt, vilket direkt förbättrar kristalltillväxtutbytet och inre kvalitet.

Utmärkt mekanisk prestanda och livslängd

TaC-beläggningen som bildas av CVD-processen har extremt hög densitet och Vickers hårdhet, vilket gör den extremt motståndskraftig mot slitage och fysisk påverkan. I praktiska tillämpningar kan våra produkter förlänga livslängden med 3 till 8 gånger jämfört med traditionella grafitringar eller pyrolytiska kol/kiselkarbidbelagda ringar. Detta innebär mindre stilleståndstid för utbyte och högre utrustningsutnyttjande, vilket avsevärt minskar den totala kostnaden för enkristallproduktion.

Utmärkt beläggningskvalitet

En beläggnings prestanda är starkt beroende av dess enhetlighet och bindningsstyrka. Vår optimerade CVD-process gör det möjligt för oss att uppnå mycket enhetlig beläggningstjocklek på även de mest komplexa ringgeometrierna. Ännu viktigare är att beläggningen bildar en stark metallurgisk bindning med grafitsubstratet med hög renhet, vilket effektivt förhindrar avskalning, sprickbildning eller flagning orsakad av skillnader i värmeutvidgningskoefficienter under snabba uppvärmnings- och kylcykler, vilket säkerställer fortsatt tillförlitlig prestanda under produktens livscykel.

Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Min rival CVD TaC Coated Rings ekologiska kedjeverifiering omfattar råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområden.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, vänligenkontakta vårt tekniska supportteamför att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.