Webbmeny

Produktsökning

Språk

Produkter

Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.


Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.


TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:


Excellent properties of TaC coating graphite


Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.


Nyckelfunktioner:

 ●Temperaturstabilitet

 ●Ultrahög renhet

 ●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

 ●Motstånd mot termiskt material

 ●Stark vidhäftning till grafit

 ●Konform beläggningstäckning

 ● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)


Ansökningar:

 ●Waferbärare

 ● Induktiv värmemottagare

 ● Resistivt värmeelement

 ●Satellitskiva

 ●Duschhuvud

 ●Styrring

 ●LED Epi-mottagare

 ●Insprutningsmunstycke

 ●Maskeringsring

 ● Värmesköld


Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet 14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga 0.3
Termisk expansionskoefficient 6,3 10-6/K
Hårdhet (HK) 2000 HK
Motstånd 1×10-5Ohm*cm
Termisk stabilitet <2500℃
Grafitstorleken ändras -10~-20um
Beläggningstjocklek ≥20um typiskt värde (35um±10um)


TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating


TaC beläggning kristallstruktur data:

Element Atomprocent
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Genomsnitt
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC -beläggningsrör

TAC -beläggningsrör

Vetek Semiconductors TAC -beläggningsrör är en nyckelkomponent för en framgångsrik tillväxt av kiselkarbid -enstaka kristaller. Med dess höga temperaturmotstånd, kemisk inerthet och utmärkt prestanda, vilket säkerställer produktion av högkvalitativa kristaller med konsekventa resultat. Lita på våra innovativa lösningar för att förbättra din PVT -metod SIC Crystal Growth Process och uppnå utmärkta resultat. Välkommen för att undersöka USA.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
TAC -beläggning av reservdel

TAC -beläggning av reservdel

TAC-beläggning används för närvarande huvudsakligen i processer såsom kiselkarbid-enstaka kristalltillväxt (PVT-metod), epitaxial disk (inklusive kiselkarbid-epitaxi, LED-epitaxi), etc. Kombinerat med den goda långsiktiga stabiliteten hos TAC-beläggningsplattan, Vetekemicons TAC-beläggningsplatta har blivit benchmarken för TAC-coat-reservdelar. Vi ser fram emot att du blir vår långsiktiga partner.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
Gan på EPI -mottagaren

Gan på EPI -mottagaren

GaN på SIC EPI Susceptor spelar en viktig roll i halvledarbearbetning genom dess utmärkta värmeledningsförmåga, hög temperaturbearbetningsförmåga och kemisk stabilitet och säkerställer den höga effektiviteten och den materiella kvaliteten på GAN -epitaxial tillväxtprocessen. Vetek Semiconductor är en China Professional -tillverkare av GAN på SIC EPI Susceptor, vi ser uppriktigt fram emot ditt ytterligare samråd.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
CVD TAC beläggningsbärare

CVD TAC beläggningsbärare

CVD TAC -beläggningsbärare är huvudsakligen utformad för den epitaxiella processen för halvledartillverkning. CVD TAC-beläggningsbärares ultrahöga smältpunkt, utmärkt korrosionsbeständighet och enastående termisk stabilitet bestämmer den oundgängliga för denna produkt i halvledarens epitaxial process. Välkommen din ytterligare förfrågan.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
TAC belagd grafitstöd

TAC belagd grafitstöd

Vetek Semiconductors TAC -belagda grafit Susceptor använder kemisk ångavsättning (CVD) för att framställa tantalkarbidbeläggning på ytan av grafitdelar. Denna process är den mest mogna och har de bästa beläggningsegenskaperna. TAC -belagda grafit Susceptor kan förlänga livslängden för grafitkomponenter, hämma migrationen av grafitföroreningar och säkerställa kvaliteten på epitaxi. Vi ser fram emot din förfrågan.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
TAC -beläggningsunderlag

TAC -beläggningsunderlag

Vetek Semiconductor presenterar TAC -beläggningens susceptor, med sin exceptionella TAC -beläggning, erbjuder denna susceptor en mängd fördelar som skiljer den från konventionella lösningar. Integrering av sömlöst i befintliga system, TAC -beläggningen Susceptor från Vetek Semiconductor garanterar kompatibilitet och effektiv drift. Dess pålitliga prestanda och högkvalitativa TAC-beläggning ger konsekvent exceptionella resultat i SIC-epitaxiprocesser. Vi har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.
Visa mer >> Skicka förfrågan >>
Som professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Tantalkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.
Nyheter Rekommendationer
Vad är skillnaden mellan kiselkarbid (SIC) och galliumnitrid (GAN) applikationer? - Vetek Semiconductor
Vad är skillnaden mellan kiselkarbid (SIC) och galliumnitrid (GAN) applikationer? - Vetek SemiconductorVisa mer >>
Vad är Tantalum Carbide (TAC)？
Vad är Tantalum Carbide (TAC)？Visa mer >>
En fullständig förklaring av chiptillverkningsprocessen (1/2): Från skiva till förpackning och testning
En fullständig förklaring av chiptillverkningsprocessen (1/2): Från skiva till förpackning och testningVisa mer >>
Från tillverkningsprocessen för elektrostatiska sugkoppar till massproduktionstillverkare
Från tillverkningsprocessen för elektrostatiska sugkoppar till massproduktionstillverkareVisa mer >>
Hur förbättrar SiC -beläggningen oxidationsmotståndet hos kolet.
Hur förbättrar SiC -beläggningen oxidationsmotståndet hos kolet.Visa mer >>
Principer och teknik för fysisk ångavsättning (1/2) - Vetek halvledare
Principer och teknik för fysisk ångavsättning (1/2) - Vetek halvledareVisa mer >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept