Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultrahög renhet

●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstånd mot termiskt material

●Stark vidhäftning till grafit

●Konform beläggningstäckning

● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

●Waferbärare

● Induktiv värmemottagare

● Resistivt värmeelement

●Satellitskiva

●Duschhuvud

●Styrring

●LED Epi-mottagare

●Insprutningsmunstycke

●Maskeringsring

● Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC beläggning kristallstruktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningsmottagare CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

Tantalkarbidbelagd porös grafit

Tantal -karbidbelagd porös grafit är en oundgänglig produkt i halvledarbearbetningsprocessen, särskilt i SIC -kristalltillväxtprocessen. Efter kontinuerliga FoU -investeringar och teknikuppgraderingar har Vetek Semiconductors TAC -belagda porösa grafitproduktkvalitet vunnit högt beröm från europeiska och amerikanska kunder. Välkommen till din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD TAC beläggning Planetary Sic Epitaxial Susceptor

CVD TAC -beläggning Planetary Sic Epitaxial Susceptor är en av kärnkomponenterna i MOCVD -planetreaktorn. Genom CVD TAC-beläggning av planetarisk SiC-epitaxial susceptor förlängs de stora skivbanor och den lilla skivan, och den horisontella flödesmodellen utvidgas till multi-chip-maskiner, så att den har både den högkvalitativa epitaxial våglängdens enhetlighet och defekt optimering av enstaka enstaka -CHIP-maskiner och produktionskostnadsfördelarna för multi-chip-maskiner. Vetek Semiconductor kan ge kunderna mycket anpassade CVD TAC-beläggningsplanetariska SIC-epitaxial susceptor. Om du också vill göra en planetär MOCVD -ugn som Aixtron, kom till oss!

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC -belagd ring

Som en ledande tillverkare och leverantör av TAC -belagda ringprodukter i Kina har Vetek Semiconductor fokuserat på FoU och produktion av olika TAC -beläggningsprodukter. Som de viktigaste kunderna i TAC -beläggningsprodukter har europeiska och amerikanska tillverkare gett höga beröm till våra beläggningsprodukter. Välkommen till din ytterligare konsultation.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Gan epitaxyföretagare

Vetek Semiconductor är ett kinesiskt företag som är en tillverkare och leverantör i världsklass av GaN Epitaxy Susceptor. Vi har arbetat inom halvledarindustrin som kiselkarbidbeläggningar och GaN -epitaxi -susceptor under lång tid. Vi kan ge dig utmärkta produkter och gynnsamma priser. Vetek Semiconductor ser fram emot att bli din långsiktiga partner.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC -belagd skiva Susceptor

Vetek Semiconductor TAC Coated Wafer Susceptor är en grafitfack belagd med tantalkarbid för kiselkarbid epitaxial tillväxt för att förbättra skivkvaliteten och prestandan. Vetek väljs på grund av sin avancerade beläggningsteknik och hållbara lösningar för att säkerställa utmärkta SIC -epitaxeresultat och utökad Susceptor Life, välkomna dina ytterligare förfrågningar.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC -beläggningsguide ringar

Som en ledande tillverkare av TAC Coating Guide Rings -produkter i Kina är Vetek Semiconductor TAC belagda guidringar viktiga komponenter i MOCVD -utrustning, vilket säkerställer exakt och stabil gasleverans under epitaxial tillväxt och är ett oundgängligt material i halvledarens epitaxial tillväxt. Välkommen att konsultera oss.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Tantalkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Tantalkarbidbeläggning

Nyckelfunktioner:

Ansökningar:

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

TaC-beläggning EDX-data：

TaC beläggning kristallstruktur data:

Tantalkarbidbelagd porös grafit

CVD TAC beläggning Planetary Sic Epitaxial Susceptor

TAC -belagd ring

Gan epitaxyföretagare

TAC -belagd skiva Susceptor

TAC -beläggningsguide ringar

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress