TAC -beläggningsrotationsplatta

Vetek Semiconductors TAC -beläggningsrotationsplatta har en hög renhetskomposition, ett föroreningsinnehåll på mindre än 5 ppm, och en tät och enhetlig struktur, som används allmänt i LPE EPI -system, AIXTRON -system, NuFLARE -system, tel CVD -system, VEECO -system, TSI -system.

● Utmärkta mekaniska egenskaper:

Beläggning av hårdhet upp till 2300HV, med utmärkt slitstyrka.

Vidhäftningen mellan beläggningen och underlaget är starkt, och det är inte lätt att falla av eller skala.

Beläggningen kan fortfarande upprätthålla god strukturell stabilitet vid hög temperatur.

●  Utmärkt korrosionsmotstånd:

TAC -material i sig har utmärkt kemisk stabilitet och korrosionsbeständighet.

Vetek Semiconductors beläggningar fungerar bra i en mängd aggressiva gasmiljöer.

Kan effektivt skydda de inre komponenterna i utrustningen från korrosionsskador.

● Hög ytfinish:

Vetek Semiconductor använder en exakt beläggningsprocess för att producera önskad finish.

Låg ytråhet hjälper till att minska partikelansamling och avsättning.

● Beläggningskonsistensen är bra:

Vetek Semiconductor har ett ljudkvalitetskontrollsystem för att säkerställa konsekvent prestanda mellan partier.

Beläggningstjockleken är jämnt fördelad och det finns inga uppenbara lokala defekter.

● Utmärkt praktisk applikationsprestanda:

Vetek Semiconductors TAC-beläggning används ofta i många välkända tillverkare av epitaxial utrustning hemma och utomlands.

Produktens fysiska parameter för TAC -belagd rotationsplatta:

Tantalkarbidbeläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt