Oxidation och diffusionsugn

● Hög temperaturmotstånd (upp till 1600 ℃)

● Utmärkt värmeledningsförmåga och termisk stabilitet

● Bra kemisk korrosionsmotstånd

● Låg värmekoefficient

● Hög styrka och hårdhet

● Långt livslängd

Vid oxidations- och diffusionsugnar, på grund av närvaron av hög temperatur och frätande gaser, kräver många komponenter användning av högtemperatur och korrosionsbeständiga material, bland vilka kiselkarbid (SIC) är ett vanligt använt val. Följande är vanliga kiselkarbidkomponenter som finns i oxidationsugnar och diffusionsugnar:

● Wafer båt

Kiselkarbidbåt är en behållare som används för att bära kiselskivor, som tål höga temperaturer och inte kommer att reagera med kiselskivor.

● Ugnsrör

Ugnsröret är kärnkomponenten i diffusionsugnen, som används för att rymma kiselskivor och kontrollera reaktionsmiljön. Kiselkarbidugnrör har utmärkta högtemperatur och korrosionsbeständighet.

● Baffelplatta

Används för att reglera luftflödet och temperaturfördelningen inuti ugnen

● Termoelementskyddsrör

Används för att skydda temperaturmätning av termoelement från direktkontakt med frätande gaser.

● Cantilever Paddel

Kiselkarbidkantilver paddlar är resistenta mot hög temperatur och korrosion och används för att transportera kiselbåtar eller kvartsbåtar som bär kiselskivor i diffusionsugnrören.

● Gasinjektor

Används för att införa reaktionsgas i ugnen måste den vara resistent mot hög temperatur och korrosion.

● båtbärare

Kiselkarbidbåtbärare används för att fixa och stödja kiselskivor, som har fördelar som hög styrka, korrosionsbeständighet och god strukturell stabilitet.

● Ugnsdörr

Kiselkarbidbeläggningar eller komponenter kan också användas på insidan av ugnsdörren.

● Uppvärmningselement

Kiselkarbidvärmeelement är lämpliga för höga temperaturer, hög effekt och kan snabbt höja temperaturen till över 1000 ℃.

● SIC -foder

Används för att skydda den inre väggen i ugnsrören, kan det bidra till att minska förlusten av värmeenergi och tål hårda miljöer som hög temperatur och högt tryck.