QR-kod

Om oss
Produkter
Kontakta oss
Telefon
Fax
+86-579-87223657
E-post
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina
Vetek Semiconductor Solid Silicon Carbide är en viktig keramisk komponent i plasmaetsa utrustning, fast kiselkarbid (CVD -kiselkarbid) Delar i etsningsutrustningen inkluderarFokuseringsringar, gasduschhuvud, bricka, kantringar, etc. På grund av den låga reaktiviteten och konduktiviteten hos massivt kiselkarbid (CVD -kiselkarbid) till klor - och fluorinnehållande etsningsgaser är det ett idealiskt material för fokuseringsringar av plasma -etsningsutrustning och andra komponenter.
Till exempel är fokusringen en viktig del placerad utanför skivan och i direktkontakt med skivan, genom att applicera en spänning på ringen för att fokusera plasma som passerar genom ringen och därmed fokusera plasma på skivan för att förbättra enhetens enhetlighet. Den traditionella fokusringen är gjord av kisel ellerkvarts, ledande kisel som ett vanligt fokusringsmaterial, det är nästan nära konduktiviteten hos kiselskivor, men bristen är dåligt etsningsresistens i fluorinnehållande plasma, etsningsmaskindelar som ofta används under en tid, kommer det att finnas allvarliga korrosionsfenomen, vilket allvarligt minskar dess produktionseffektivitet.
SOlid Sic Focus RingArbetsprincip:
Jämförelse av SI -baserad fokuseringsring och CVD SIC Focusing Ring :
Jämförelse av SI -baserad fokuseringsring och CVD SIC -fokuseringsring | ||
Punkt | Och | CVD SIC |
Densitet (g/cm3) | 2.33 | 3.21 |
Band Gap (EV) | 1.12 | 2.3 |
Termisk konduktivitet (W/CM ℃) | 1.5 | 5 |
CTE (x10-6/℃) | 2.6 | 4 |
Elastisk modul (GPA) | 150 | 440 |
Hårdhet (GPA) | 11.4 | 24.5 |
Motstånd mot slitage och korrosion | Dålig | Excellent |
Vetek Semiconductor erbjuder avancerad solid kiselkarbid (CVD -kiselkarbid) delar som SIC -fokuseringsringar för halvledarutrustning. Vår fasta kiselkarbidfokuseringsringar överträffar traditionellt kisel när det gäller mekanisk styrka, kemisk resistens, värmeledningsförmåga, hög temperatur hållbarhet och jon etsningsmotstånd.
Hög densitet för reducerade etsningshastigheter.
Utmärkt isolering med en hög bandgap.
Hög värmeledningsförmåga och låg värmekoefficient.
Överlägsen mekanisk slagmotstånd och elasticitet.
Hög hårdhet, slitmotstånd och korrosionsmotstånd.
Tillverkad medPlasma-förbättrad kemisk ångavsättning (PECVD)Tekniker, våra SIC -fokuseringsringar uppfyller de ökande kraven på etsningsprocesser vid halvledartillverkning. De är utformade för att motstå högre plasmakraft och energi, särskilt iKapacitivt kopplad plasma (CCP)system.
Vetek Semiconductors SIC -fokuseringsringar ger exceptionell prestanda och tillförlitlighet vid tillverkning av halvledarenheter. Välj våra SIC -komponenter för överlägsen kvalitet och effektivitet.
Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.
Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.
Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.
To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.
+86-579-87223657
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Alla rättigheter reserverade.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |