TaC beläggningsring

VeTek semiconductors TaC Coating Ring är tillverkad av högkvalitativ grafit och belagd med tantalkarbid (TaC), ett material känt för sina överlägsna egenskaper, är en oumbärlig komponent vid bearbetning av halvledarwafer.

De viktigaste egenskaperna och fördelarna med VeTek halvledar TaC Coating Ring:

● Hög termisk stabilitet: En av de framstående funktionerna i tantalens karbidbeläggningsring är dess förmåga att motstå höga temperaturer, en kritisk faktor i halvledarets etsning. SiC -etsningsprocessen innebär exponering för förhöjda temperaturer och reaktiva gaser, och tantalens karbidbeläggning säkerställer att ringen förblir stabil och behåller sin strukturella integritet även under dessa hårda förhållanden. Denna termiska motståndskraft säkerställer att komponenten fortsätter att fungera optimalt under längre perioder.

●  Förbättrad mekanisk styrka: Kombinationen av höghållfast grafit och TaC-beläggning resulterar i en komponent med förbättrade mekaniska egenskaper, vilket gör den TaC-belagda ringen mycket motståndskraftig mot slitage. Dess mekaniska styrka är avgörande för att hålla SiC-skivor stadigt på plats, vilket säkerställer noggrann etsning och förhindrar all deformation under processen.

● Kemisk korrosionsbeständighet: I halvledarprocesser såsom Sic -etsning utsätts komponenter ofta för aggressiva kemikalier och reaktiva gaser. Tantalens karbidbeläggning ger utmärkt skydd mot korrosion, avsevärt förlänger ringlivet för ringen och minimerar behovet av ofta ersättare. Detta motstånd är särskilt viktigt i etsningsprocessen, där komponenterna är i konstant kontakt med kemiskt reaktiva ämnen.

● Superior Coatitac CoatingSng för förbättrad prestanda: Tantalens karbidbeläggning på grafitringen ger en robust yta som förbättrar komponentens totala prestanda. Tantal -karbid är känd för sin höga smältpunkt (cirka 3 880 ° C) och dess utmärkta resistens mot kemiska reaktioner, särskilt i de aggressiva miljöerna som vanligtvis stöter på under halvledarprocesser. Denna tantalkarbidbeläggning förbättrar produktens livslängd avsevärt, vilket ger överlägsen hållbarhet jämfört med obelagda grafitringar.

●  Förbättrad mekanisk styrka: Kombinationen av höghållfast grafit och TaC-beläggning resulterar i en komponent med förbättrade mekaniska egenskaper, vilket gör den TaC-belagda ringen mycket motståndskraftig mot slitage. Dess mekaniska styrka är avgörande för att hålla SiC-skivor stadigt på plats, vilket säkerställer noggrann etsning och förhindrar all deformation under processen.

Som en ledande TaC Coating Ring-leverantör, tillverkare och fabrik i Kina, har VeTek Semiconductor länge varit engagerad i att tillhandahålla avancerade TaC Coating Ring-produkter och tekniska lösningar för halvledarbearbetningsindustrin, och stödjer skräddarsydda produkttjänster. VeTekSemi ser verkligen fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Fysikaliska egenskaper hos TAC -beläggning

Vetek Semiconductors TAC Coating Ring Product Shops