Vilka material används i halvledar keramiska komponenter?

Aluminiumoxid keramik (al₂o₃) ‌

Alumina keramik är "arbetshäst" för tillverkning av keramiska komponenter. De uppvisar utmärkta mekaniska egenskaper, ultrahöga smältpunkter och hårdhet, korrosionsbeständighet, stark kemisk stabilitet, hög resistivitet och överlägsen elektrisk isolering. De används ofta för att tillverka poleringsplattor, vakuumchuckar, keramiska armar och liknande delar.

‌Aluminium Nitride Ceramics (ALN)

Aluminiumnitridkeramik har hög värmeledningsförmåga, en värmeutvidgningskoefficient som matchar den hos kisel och låg dielektrisk konstant och förlust. Med fördelar som hög smältpunkt, hårdhet, värmeledningsförmåga och isolering används de främst i värmedissiperande underlag, keramiska munstycken och elektrostatiska chuckar.

‌Ytria keramik (y₂o₃)

Yttria -keramik har en hög smältpunkt, utmärkt kemisk och fotokemisk stabilitet, låg fononenergi, hög värmeledningsförmåga och god transparens. I halvledarindustrin kombineras de ofta med aluminiumoxidkeramik - till exempel appliceras Yttria -beläggningar på aluminiumoxidkeramik för att producera keramiska fönster.

‌Silicon nitrid ceramics (si₃n₄) ‌

Kiselnitridkeramik kännetecknas av en hög smältpunkt, exceptionell hårdhet, kemisk stabilitet, låg termisk expansionskoefficient, hög värmeledningsförmåga och stark termisk chockmotstånd. De upprätthåller enastående slagmotstånd och styrka under 1200 ° C, vilket gör dem idealiska för keramiska underlag, bärande krokar, positioneringsstift och keramiska rör.

‌Silicon carbide ceramics (sic) ‌

Kiselkarbid keramik, som liknar diamant i egenskaper, är lätta, ultrahårda och högstyrka material. Med exceptionell omfattande prestanda, slitmotstånd och korrosionsmotstånd används de allmänt i ventilsäten, skjutlager, brännare, munstycken och värmeväxlare.

‌Zirconia Ceramics (Zro₂) ‌

Zirkoniumkeramik erbjuder hög mekanisk styrka, värmebeständighet, syra/alkali -resistens och utmärkt isolering. Baserat på zirkoniuminnehåll kategoriseras de i:

• Precision Ceramics‌ (innehåll som överstiger 99,9%, som används för integrerade kretssubstrat och högfrekventa isoleringsmaterial).
• Vanlig keramik‌ (för keramiska produkter i allmänheten).

Strukturella egenskaper hosHalvledarkeramik Komponenter

‌Dense keramik‌

Tät keramik används ofta inom halvledarindustrin. De uppnår densifiering genom att minimera porerna och framställs via metoder såsom reaktionssintring, trycklös sintring, sintring av vätskefas, varmpressning och varm isostatisk pressning.

‌Porös keramik

I motsats till tät keramik innehåller porös keramik en kontrollerad volym av tomrum. De klassificeras efter porstorlek i mikroporösa, mesoporösa och makroporösa keramik. Med låg bulkdensitet, lättviktstruktur, stor specifik ytarea, effektiv filtrering/termisk isolering/akustiska dämpningsegenskaper och stabil kemisk/fysisk prestanda, är de vana att tillverka olika komponenter i halvledarutrustning.