Vad är temperaturgradienten för det termiska fältet för en enda kristallugn?

Vad är?termisk fält?

Temperaturfältet förenkristalltillväxtAvser den rumsliga temperaturfördelningen i en enda kristallugn, även känd som det termiska fältet. Under kalcinering är temperaturfördelningen i det termiska systemet relativt stabil, vilket kallas ett statiskt termiskt fält. Under tillväxten av en enda kristall kommer det termiska fältet att förändras, som kallas ett dynamiskt termiskt fält.

När en enkelkristall växer, på grund av den kontinuerliga omvandlingen av fasen (vätskefas till fast fas), frigörs den latenta värmen på fast fas kontinuerligt. Samtidigt blir kristallen längre och längre, smältnivån sjunker ständigt och värmeledningen och strålningen förändras. Därför förändras det termiska fältet, vilket kallas ett dynamiskt termiskt fält.

Vad är det solid-vätska gränssnittet?

Vid ett visst ögonblick har vilken punkt som helst i ugnen en viss temperatur. Om vi ​​ansluter punkterna i utrymmet med samma temperatur i temperaturfältet får vi en rumslig yta. På denna rumsliga yta är temperaturen lika överallt, vilket vi kallar en isotermisk yta. Bland de isotermiska ytorna i enkelkristallugnen finns det en mycket speciell isotermisk yta, som är gränssnittet mellan den fasta fasen och vätskefasen, så det kallas också det fasta vätskan. Kristallen växer från det fasta vätskan.

Vad är temperaturgradient?

Temperaturgradienten avser förändringshastigheten för temperaturen för en punkt A i det termiska fältet till temperaturen på en närliggande punkt B. Det vill säga temperaturförändringshastigheten inom ett enhetsavstånd.

NärenkelkristallsilikonVäxer, det finns två former av fast och smälter i det termiska fältet, och det finns också två typer av temperaturgradienter:

▪ Longitudinell temperaturgradient och radiell temperaturgradient i kristallen.

▪ Longitudinell temperaturgradient och radiell temperaturgradient i smältan.

▪ Dessa är två helt olika temperaturfördelningar, men temperaturgradienten vid det fasta vätskan som mest kan påverka kristallisationstillståndet. Den radiella temperaturgradienten för kristallen bestäms av den längsgående och tvärgående värmeledningen av kristallen, ytstrålningen och den nya positionen i det termiska fältet. Generellt sett är mitttemperaturen hög och kanttemperaturen på kristallen är låg. Den radiella temperaturgradienten för smältan bestäms huvudsakligen av värmare runt den, så mitttemperaturen är låg, temperaturen nära degeln är hög och den radiella temperaturgradienten är alltid positiv.

En rimlig temperaturfördelning av det termiska fältet måste uppfylla följande förhållanden:

▪ Longitudinell temperaturgradient i kristallen är tillräckligt stor, men inte för stor, för att säkerställa att det finns tillräckligt med värmeavbrottskapacitet underkristalltillväxtatt ta bort den latenta kristallisationsvärmen.

▪ Den längsgående temperaturgradienten i smältan är relativt stor, vilket säkerställer att inga nya kristallkärnor genereras i smältan. Men om det är för stort är det lätt att orsaka dislokationer och brott.

▪ Longitudinell temperaturgradient vid kristallisationsgränssnittet är lämpligt stort och bildar därmed den nödvändiga underkylningen, så att den enskilda kristallen har tillräckligt tillväxtmoment. Det bör inte vara för stort, annars kommer strukturella defekter att inträffa, och den radiella temperaturgradienten bör vara så liten som möjligt för att göra kristallisationsgränssnittet platt.

Vetek Semiconductor är en professionell kinesisk tillverkare avSic kristalltillväxt porös grafit, Monokristallin dragande av degel, Dra kiselkristalljig, Degel för monokristallint kisel, Tantal Carbide Coated Tube för kristalltillväxt.  Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerade lösningar för olika SIC -skivprodukter för halvledarindustrin.

Om du är intresserad av ovanstående produkter, vänligen kontakta oss direkt.  

Mob: +86-180 6922 0752

Whatsapp: +86 180 6922 0752

E -post: anny@eteksemi.com