Keramisk vakuumchuck

Ceramic Vacuum Chuck i aluminiumoxid är en skivhållare för epitaxiala processer vid halvledarbearbetning. Det är ett viktigt verktyg för att stabilisera skivor och säkerställa enhetlig tillväxt av epitaxiella skikt. Det används ofta i epitaxial utrustning somMocvdochLpcvd.

Vetek Semiconductor aluminiumoxid Ceramic Vacuum Chuck spelar en viktig roll i skivtunnande och slipningsstadier av halvledartillverkning. Dessa stadier innebär att du minskar tjockleken påskivsubstratFör att förbättra chipvärmeavledningen, vilket är viktigt för att förbättra effektiviteten och livslängden för halvledarenheter.

Kompatibel med flera skivstorlekar: Vetek Semiconductor aluminiumoxid keramisk vakuumchuck är utformad för att stödja ett brett utbud av skivstorlekar, inklusive 2, 3, 4, 5, 6, 8 och 12 tum. Denna anpassningsförmåga gör den lämplig för en mängd olika halvledarproduktionsmiljöer, vilket säkerställer konsekvent och tillförlitlig prestanda i olika skivstorlekar.

Överlägset materialkomposition: Basen för aluminiumoxidkeramiska vakuumchucken är gjord av ultra-pure 99.9999% aluminiumoxid (Al₂O₃), som erbjuder utmärkt resistens mot kemisk attack och termisk stabilitet. Chuckytan är gjord av poröskiselkarbid (sic). Det porösa keramiska materialet har en tät och enhetlig struktur, vilket förbättrar dess hållbarhet och prestanda.

Fördelar medPorös keramisk teknik：

Materiell renhet och hållbarhet: Tillverkad av 99,99% ren aluminiumoxid, motstår vår keramiska vakuumchuck kemisk attack och erbjuder utmärkt termisk stabilitet, vilket gör den idealisk för extremt krävande tillverkningsmiljöer.

Optimal porositet och luftpermeabilitet: Jämnt distribuerade mikroporer ger utmärkt luftpermeabilitet och enhetlig adsorptionskraft, vilket resulterar i smidig och konsekvent drift.

Förbättrad planhet och parallellitet: Mikroporous aluminiumoxid keramiska vakuumchuckar har utmärkt planhet och parallellitet, vilket säkerställer exakt skivhantering och stabilitet.

Anpassade servicefunktioner: Veteksemi kan tillhandahålla en mängd anpassningsbara former, inklusive runda, fyrkantiga, ring och andra mönster, med tjocklek som sträcker sig från 3 mm till 10 mm. Denna anpassning säkerställer att våra keramiska vakuumchuckar uppfyller de specifika behoven i olika halvledarprocesser och är definitivt ditt idealiska val.

Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknik och produktlösningar för halvledarindustrin, och vi hoppas verkligen vara din långsiktiga partner i Kina.

DeKemisk formel föraluminiumoxid keramik：

Det halvledareAluminiumoxid keramikvakuumchuckbutiker: