Aluminiumoxid keramisk vakuumchuck

Alumina Ceramic Vacuum Chuck är en waferhållare för epitaxiella processer inom halvledarbearbetning. Det är ett nyckelverktyg för att stabilisera wafers och säkerställa enhetlig tillväxt av epitaxiella lager. Det används flitigt i epitaxiell utrustning som t.exMOCVDochLPCVD.

VeTek SemiconductorAlumina Ceramic Vacuum Chuck spelar en viktig roll i skivförtunning och slipning av halvledartillverkning. Dessa steg innebär att just reducera tjockleken påwafersubstratför att förbättra spånets värmeavledning, vilket är viktigt för att förbättra effektiviteten och livslängden för halvledarenheter.

Kompatibel med flera waferstorlekar: VeTek Semiconductor Alumina Ceramic Vacuum Chuck är designad för att stödja ett brett utbud av waferstorlekar, inklusive 2, 3, 4, 5, 6, 8 och 12 tum. Denna anpassningsförmåga gör den lämplig för en mängd olika halvledarproduktionsmiljöer, vilket säkerställer konsekvent och pålitlig prestanda över olika waferstorlekar.

Överlägsen materialsammansättning: Basen på Alumina Ceramic Vacuum Chuck är gjord av ultraren 99,9999% aluminiumoxid (Al₂O₃), som erbjuder utmärkt motståndskraft mot kemiska angrepp och termisk stabilitet. Chuckytan är gjord av poröskiselkarbid (SiC). Det porösa keramiska materialet har en tät och enhetlig struktur, vilket förbättrar dess hållbarhet och prestanda.

Fördelarna medPorös keramisk teknologi：

Materialrenhet och hållbarhet: Tillverkad av 99,99 % ren aluminiumoxid, vår aluminiumoxid keramiska vakuumchuck motstår kemiska angrepp och erbjuder utmärkt termisk stabilitet, vilket gör den idealisk för extremt krävande tillverkningsmiljöer.

Optimal porositet och luftgenomsläpplighet: Jämnt fördelade mikroporer ger utmärkt luftgenomsläpplighet och enhetlig adsorptionskraft, vilket resulterar i jämn och konsekvent drift.

Förbättrad planhet och parallellism: Mikroporös aluminiumoxid keramiska vakuumchuckar har utmärkt planhet och parallellitet, vilket säkerställer exakt waferhantering och stabilitet.

Anpassade servicemöjligheter: VeTekSemi kan tillhandahålla en mängd olika anpassningsbara former, inklusive runda, fyrkantiga, ringar och andra mönster, med tjocklek från 3MM till 10MM. Denna anpassning säkerställer att våra keramiska vakuumchuckar av aluminiumoxid uppfyller de specifika behoven för olika tillverkningsprocesser för halvledarprodukter och är definitivt ditt idealiska val.

VeTek Semiconductorhar åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknologi och produktlösningar för halvledarindustrin, och vi hoppas verkligen att vara din långsiktiga partner i Kina.

DeKemisk formel föraluminiumoxid keramik：

VeTek SemiconductorAlumina Keramiska Vacuum Chuck Butiker: