Vad är en PECVD -grafitbåt?

Ⅰ. Vad är materialet med PECVD -grafitbåt?

Kärnmaterialet avPECVD -grafitbåt(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Graphite Boat) är gjord av hög renhetisotropiskt grafitmaterial(Renhet är vanligtvis ≥99.999%) och modifieras genom speciella processer (såsom kemisk ångavsättning CVD eller ytbeläggning). Grafit med hög renhet används ofta i PECVD-system på grund av dess utmärkta elektriska konduktivitet och hög värmeledningsförmåga (80 ~ 150 W/m · K). Dettagrafitmaterial med hög renhetkan upprätthålla god strukturell stabilitet och kemisk stabilitet i miljöer med hög temperatur och kan motstå korrosion från reaktiva gaser och plasma.

Ⅱ. Vilka är de fysiska egenskaperna hos grafitbåten?

De fysiska egenskaperna hos PECVD -grafitbåtar inkluderar:

● Elektrisk konduktivitet: Isostatisk grafit har utmärkt elektrisk konduktivitet, vilket gör att den effektivt kan hantera elektrisk energi och främja generering och underhåll av plasma under PECVD -processen.

●  Termisk konduktivitet: Den höga värmeledningsförmågan hos grafit (cirka 80 ~ 150 W/m · K) hjälper till att upprätthålla en stabil temperaturmiljö under PECVD -processen och säkerställa enhetlig avsättning av tunna filmer.

●  Densitet: Densiteten för kommersiell polykristallin grafit sträcker sig från 1,30 g/cm³ till 1,88 g/cm³. Ju högre täthet, desto bättre är de fysiska och mekaniska egenskaperna, vilket kan förbättra produktens livslängd.

Ⅲ. Vilka är fördelarna med PECVD -grafitbåt jämfört med vanlig grafitbåt?

Jämfört med vanliga grafitbåtar har PECVD -grafitbåtar följande fördelar:

Ⅳ. Varför välja Veteksemicons PECVD -grafitbåt?

Som vi alla vet är Veteksemicon en ledande tillverkare och leverantör av halvledarbeläggningsprodukter ochgrafitprodukteri Kina. VårPECVD grafitbåtaranvänds huvudsakligen inom halvledar- och fotovoltaiska industrier, särskilt i PECVD- och CVD -processer.

Grafitbåtar används vanligtvis som bärare för att bära kiselskivor eller annat material för att säkerställa säker hantering och transport av dessa material i hög temperatur och plasmamiljöer. Till exempel, i halvledartillverkningsprocessen är Veteksemicons PECVD -grafitbåtar utformade för plasmaförbättrade kemiska ångavlagringsprocesser. Grafitbåten spelar rollen som deponering av kiselnitridskikt (SINₓ) passiveringsskikt och låga dielektriska konstantfilmer (låg-K).

Inom det fotovoltaiska fältet används PECVD-grafitbåtar för att framställa kiselbaserade tunnfilms solceller (såsom amorf kisel A-Si: H) och PERC-cellens bakre passiveringsskikt. Veteksemicons PECVD -grafitbåt optimerar beläggningsprocessen genom att effektivt avstånd från kiselskivor och inducera glödutsläpp för att uppnå enhetlig beläggningsavsättning.

Ännu viktigare är att Veteksemicon kan tillhandahålla anpassade produkter och tekniska tjänster och kan designa och tillverka grafitbåtprodukter med olika specifikationer enligt dina faktiska processkrav. Att välja Veteksemicon innebär att välja en branschledare med stark styrka inom halvledaren och fotovoltaiska industrier. Vi ser uppriktigt fram emot att bli din långsiktiga partner.