SiC-kristalltillväxt porös grafit

Sic Crystal Growth Porös grafit är ett material tillverkat av porös grafit med en mycket kontrollerbar porstruktur. Vid halvledarbearbetning visar den utmärkt värmeledningsförmåga, hög temperaturmotstånd och kemisk stabilitet, så den används ofta i fysisk ångavsättning, kemisk ångavsättning och andra processer, vilket förbättrar produktionsprocessens effektivitet betydligt, och blir en optimerad halvledare Material som är kritiska för tillverkningsutrustningens prestanda.

I PVD-processen används SiC Crystal Growth Porous Graphite vanligtvis som ett underlag eller fixtur. Dess funktion är att stödja skivan eller andra substrat och säkerställa materialets stabilitet under avsättningsprocessen. Värmeledningsförmågan hos porös grafit är vanligtvis mellan 80 W/m·K och 120 W/m·K, vilket gör att porös grafit leder värme snabbt och jämnt, vilket undviker lokal överhettning, vilket förhindrar ojämn avsättning av tunna filmer, vilket avsevärt förbättrar processeffektiviteten. .

Dessutom är det typiska porositetsområdet för Sic Crystal Growth Porous grafit 20% ~ 40%. Denna egenskap kan hjälpa till att sprida gasflödet i vakuumkammaren och förhindra att gasflödet påverkar filmskiktets enhetlighet under avsättningsprocessen.

I CVD -processen ger den porösa strukturen för Sic Crystal Growth Porös grafit en idealisk väg för enhetlig fördelning av gaser. Den reaktiva gasen avsätts på ytan av underlaget genom en kemisk gasfasreaktion för att bilda en tunn film. Denna process kräver exakt kontroll av flödet och fördelningen av den reaktiva gasen. 20% ~ 40% porositet hos porös grafit kan effektivt vägleda gas och jämnt fördela den på ytan av substratet, vilket förbättrar enhetligheten och konsistensen i det avsatta filmskiktet.

Porös grafit används vanligen som ugnsrör, substratbärare eller maskmaterial i CVD-utrustning, speciellt i halvledarprocesser som kräver material med hög renhet och extremt höga krav på partikelförorening. Samtidigt involverar CVD-processen vanligtvis höga temperaturer och porös grafit kan bibehålla sin fysiska och kemiska stabilitet vid temperaturer upp till 2500°C, vilket gör det till ett oumbärligt material i CVD-processen.

Trots sin porösa struktur har Sic Crystal Growth Porous grafit fortfarande en kompressionsstyrka på 50 MPa, vilket är tillräckligt för att hantera den mekaniska stress som genereras under halvledartillverkning.

Som ledare för porösa grafitprodukter i Kinas halvledarindustri har Veteksemi alltid stött produktanpassningstjänster och tillfredsställande produktpriser. Oavsett vad dina specifika krav är, kommer vi att matcha den bästa lösningen för din porösa grafit och ser fram emot ditt samråd när som helst.

Grundläggande fysiska egenskaper hos Sic Crystal Growth Porous grafit:

VeTek Semiconductor SiC Crystal Growth Porous Graphite-produkter butiker:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: