Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultrahög renhet

●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstånd mot termiskt material

●Stark vidhäftning till grafit

●Konform beläggningstäckning

● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

●Waferbärare

● Induktiv värmemottagare

● Resistivt värmeelement

●Satellitskiva

●Duschhuvud

●Styrring

●LED Epi-mottagare

●Insprutningsmunstycke

●Maskeringsring

● Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC beläggning kristallstruktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningsmottagare CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

TAC -beläggningsrotationsplatta

TAC-beläggningsrotationsplatta som produceras av Vetek Semiconductor har en enastående TAC-beläggning, med sin exceptionella TAC-beläggning, TAC-beläggningsrotationsplattan har anmärkningsvärda högtemperaturmotstånd och kemisk inerthet, som skiljer den från traditionella lösningar. Vi är engagerade i att tillhandahålla kvalitetsprodukter på konkurrenspriser och se fram emot att vara din långa partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC -beläggning

Vetek Semiconductors TAC -beläggningsplatta är designad med precision och konstruerad till perfektion för olika applikationer i kiselkarbid (SIC) enkelkristalltillväxtprocesser. TAC -beläggningsplattans exakta dimensioner och robusta konstruktion gör det enkelt att integrera i befintliga system, vilket säkerställer sömlös kompatibilitet och effektiv drift. Dess pålitliga prestanda och högkvalitativa beläggning bidrar till konsekventa och enhetliga resultat i SIC-kristalltillväxtapplikationer. Vi har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

CVD TAC beläggning

CVD TAC -beläggningstäckning som tillhandahålls av Vetek Semiconductor är en mycket specialiserad komponent utformad specifikt för krävande applikationer. Med sina avancerade funktioner och exceptionella prestanda erbjuder vårt CVD TAC -beläggningskåp flera viktiga fördelar. Vår CVD TAC -beläggningstäckning ger nödvändigt skydd och prestanda som krävs för framgång. Vi ser fram emot att utforska potentiellt samarbete med dig!

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC -beläggning av planeten

TAC -beläggning Planetary Susceptor är en exceptionell produkt för Aixtron Epitaxy -utrustning. Vetek Semiconductors TAC-beläggning ger utmärkt högtemperaturresistens och kemisk inerthet. Denna unika kombination säkerställer tillförlitlig prestanda och lång livslängd, även i krävande miljöer. Vetek har åtagit sig att tillhandahålla högkvalitativa produkter och fungera som en långsiktig partner på den kinesiska marknaden med konkurrenskraftiga priser.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC -beläggning av sockelstödplattan

TAC -beläggning tål hög temperatur på 2200 ℃. Vetek Semiconductor tillhandahåller TAC -beläggning med hög renhet med föroreningar under 5 ppm i Kina. TAC -beläggning av sockelstödplattan kan motstå ammoniakväte, argonin i den epitaxiella enhetens reaktionskammare. Det förbättrar produktens livslängd. Du tillhandahåller kraven, vi tillhandahåller anpassning.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC Coating Chuck

Vetek Semiconductors TAC-beläggning Chuck har en högkvalitativ beläggning av ytan, känd för sina enastående högtemperaturresistens och kemisk inerthet, särskilt i kiselkarbid (SIC) -processer (EPI). Med sina exceptionella funktioner och överlägsna prestanda erbjuder vår TAC-beläggning Chuck flera viktiga fördelar. Vi har åtagit sig att tillhandahålla kvalitetsprodukter till konkurrenskraftiga priser och ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Tantalkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Tantalkarbidbeläggning

Nyckelfunktioner:

Ansökningar:

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

TaC-beläggning EDX-data：

TaC beläggning kristallstruktur data:

TAC -beläggningsrotationsplatta

TAC -beläggning

CVD TAC beläggning

TAC -beläggning av planeten

TAC -beläggning av sockelstödplattan

TAC Coating Chuck

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress