CVD TAC -beläggningsområde

TAC -beläggningsrotation Susceptor spelar en nyckelroll i processer med hög temperatur som CVD och MBE, och är en viktig komponent för skivbehandling vid tillverkning av halvledartillverkning. Bland dem,TAC -beläggninghar utmärkt hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet och kemisk stabilitet, vilket säkerställer hög precision och hög kvalitet under skivbearbetning.

CVD TAC -beläggningsområde består vanligtvis av TAC -beläggning ochgrafitsubstrat. Bland dem är TAC ett högt smältpunkt keramiskt material med en smältpunkt på upp till 3880 ° C. Den har extremt hög hårdhet (Vickers hårdhet upp till 2000 HV), kemisk korrosionsbeständighet och stark oxidationsmotstånd. Därför är TAC -beläggning ett utmärkt högtemperaturbeständigt material i halvledarbearbetningsteknik.

Grafitunderlaget har god värmeledningsförmåga (värmeledningsförmågan är cirka 21 W/m · K) och utmärkt mekanisk stabilitet. Denna egenskap bestämmer att grafit blir en idealisk beläggningsubstrat.

CVD TAC -beläggning av Crucible används främst i följande halvledarbehandlingsteknik:

Skivtillverkning: Vetek Semiconductor CVD TAC -beläggnings Crucible har utmärkt hög temperaturmotstånd (smältpunkt upp till 3880 ° C) och korrosionsbeständighet, så den används ofta i nyckelstoppningsprocesser som hög temperaturånga (CVD) och epitaxial tillväxt. Kombinerat med produktens utmärkta strukturella stabilitet i extremt höga temperaturmiljöer säkerställer det att utrustningen kan fungera stabilt under lång tid under extremt hårda förhållanden och därmed effektivt förbättra produktionseffektiviteten och kvaliteten på skivorna.

Epitaxial tillväxtprocess: I epitaxiella processer somkemisk ångavsättning (CVD)och molekylär strålepitaxi (MBE), CVD TAC -beläggning av Crucible spelar en nyckelroll i transporten. Dess TAC -beläggning kan inte bara bibehålla materialets höga renhet under extrem temperatur och frätande atmosfär, utan förhindrar också effektivt förorening av reaktanterna på materialet och korrosionen av reaktorn, vilket säkerställer noggrannheten för produktionsprocessen och produktkonsistensen.

Som Kinas ledande CVD TAC -beläggningsdödstillverkare och ledare kan Vetek Semiconductor tillhandahålla anpassade produkter och tekniska tjänster enligt dina utrustning och processkrav. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

Tantal Carbide (TAC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt：

Fysikaliska egenskaper hos TAC -beläggning：

Det halvledare CVD TAC -beläggning av Crucible -butiker ：