TAC -beläggningsrotationssusceptor

Vetek Semiconductor TAC beläggning Rotation Susceptor är en nyckelkomponent för skivhantering vid halvledarbearbetning. DessTac vadVårhar utmärkt hög temperaturtolerans (smältpunkt upp till 3880 ° C), kemisk stabilitet och korrosionsbeständighet, som säkerställer hög precision och hög kvalitet i skivbehandling.

TAC -beläggningsrotation Susceptor (Tantalum kolbeläggning Rotation Susceptor) är en viktig utrustningskomponent som används vid halvledarbearbetning. Det är vanligtvis installerat ikemisk ångavsättning (CVD)och molekylär strålepitaxy (MBE) utrustning för att stödja och rotera skivor för att säkerställa enhetlig materialavlagring och effektiv reaktion. Denna typ av produkt förbättrar utrustningens livslängd och prestanda i hög temperatur och frätande miljöer genom att belägga underlaget medTantal Col (TAC) beläggning.

TAC -beläggningsrotation Susceptor består vanligtvis av TAC -beläggning och grafit eller kiselkarbid som underlagsmaterial. TAC är ett keramiskt material med extremt hög temperatur med extremt hög smältpunkt (smältpunkt upp till 3880 ° C), hårdhet (Vickers hårdhet är cirka 2000 Hk) och utmärkt kemisk korrosionsbeständighet. Vetek halvledare kan effektivt och jämnt täcka tantalens kolbeläggning på substratmaterialet genom CVD -teknik.

Rotation Susceptor är vanligtvis tillverkad av hög värmeledningsförmåga och material med hög hållfasthet (grafit ellerkiselkarbid), som kan ge bra mekaniskt stöd och termisk stabilitet i miljöer med hög temperatur. Den perfekta kombinationen av de två bestämmer den perfekta prestanda för TAC -beläggningsrotationssusceptor vid stöd och roterande skivor.

TAC -beläggningsrotation Susceptor stöder och roterar skivan i CVD -processen. Vickers hårdhet hos TAC är cirka 2000 HK, vilket gör att den kan motstå upprepad friktion av materialet och spela en bra stödroll, vilket säkerställer att reaktionsgasen är jämnt fördelad på skivytan och materialet avsätts jämnt. Samtidigt möjliggör den höga temperaturtoleransen och korrosionsbeständigheten för TAC -beläggning den under lång tid i hög temperatur och frätande atmosfärer, vilket effektivt undviker förorening av skivan och bäraren.

Dessutom är TAC: s värmeledningsförmåga 21 W/m · K, vilket har god värmeöverföring. Därför kan TAC -beläggningsrotationssusceptor värma skivan jämnt under höga temperaturförhållanden och säkerställa enhetligheten i gasavlagringsprocessen genom rotationsrörelse och därmed bibehålla konsistensen och hög kvalitet påskivtillväxt.

Tantal Carbide (TAC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt：

Fysikaliska egenskaper hos TAC -beläggning：

TAC -beläggning av rotationssusceptorbutiker: