Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultrahög renhet

●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstånd mot termiskt material

●Stark vidhäftning till grafit

●Konform beläggningstäckning

● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

●Waferbärare

● Induktiv värmemottagare

● Resistivt värmeelement

●Satellitskiva

●Duschhuvud

●Styrring

●LED Epi-mottagare

●Insprutningsmunstycke

●Maskeringsring

● Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC beläggning kristallstruktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningsmottagare CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

CVD TAC beläggningsring

Inom halvledarindustrin är CVD TAC -beläggningsring en mycket fördelaktig komponent utformad för att uppfylla de krävande kraven i kiselkarbid (SIC) kristalltillväxtprocesser. Vetek Semiconductors CVD TAC-beläggningsring ger enastående högtemperaturresistens och kemisk inerthet, vilket gör det till ett idealiskt val för miljöer som kännetecknas av förhöjda temperaturer och frätande tillstånd. Vi har åtagit oss att skapa effektiv produktion av kiselkarbidkolor. Kontakta oss gärna för fler frågor.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

LPE SiC EPI Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon är en speciell design för horisontell epitaxiugn, en revolutionerande produkt designad för att höja LPE-reaktorns SiC-epitaxiprocesser. Denna banbrytande lösning har flera nyckelfunktioner som säkerställer överlägsen prestanda och effektivitet genom hela din tillverkningsverksamhet.Vetek Semiconductor är professionella på att tillverka LPE SiC Epi halfmoon i 6 tum, 8 tum. Ser fram emot att etablera ett långsiktigt samarbete med dig.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

LED EPI

Vetek Semiconductor är en ledande leverantör av TAC -beläggningar och SIC -beläggningsgrafitdelar. Vi är specialiserade på produktion av banbrytande LED EPI-susceptorer, väsentliga för LED-epitaxiprocesser. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

MOCVD-susceptor med TaC-beläggning

VeTek Semiconductor är en heltäckande leverantör involverad i forskning, utveckling, produktion, design och försäljning av TaC-beläggningar och SiC-beläggningsdelar. Vår expertis ligger i produktionen av toppmodern MOCVD-susceptor med TaC-beläggning, som spelar en viktig roll i LED-epitaxiprocessen. Välkommen att diskutera med oss frågor och ytterligare information.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC belagd djup UV LED -susceptor

TAC -beläggning är en ny generationsbeläggningsutveckling för hård miljö. Vetek Semiconductor är en integrerad leverantör som bedriver forskning och utveckling, produktion, design och försäljning av TAC -beläggningar. Vi är specialiserade på att tillverka kantskärning av TAC-belagda UV-LED-susceptorer, som är avgörande komponenter i LED-epitaxiprocessen. Vår TAC -belagda djupa UV -LED -SUSCEPTOR erbjuder hög värmeledningsförmåga, hög mekanisk styrka, förbättrad produktionseffektivitet och epitaxialt skivskydd. Välkommen till förfrågan oss.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Tantal Carbide TAC belagd halvmoon

Halfmoon -delar belagda med CVD TAC -beläggning, är mer hållbar än SIC -belagda halvmåneddelar. Vetek Semiconductor är den ledande tillverkaren och leverantören i Kina för Tantalum Carbide TAC belagd Halfmoon, vi specialiserade på FoU och produktion, kan styra kvaliteten och erbjuda en konkurrens pris. Du är välkommen att besöka vår fabrik för ytterligare diskussion om ett långsiktigt samarbete.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Tantalkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Tantalkarbidbeläggning

Nyckelfunktioner:

Ansökningar:

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

TaC-beläggning EDX-data：

TaC beläggning kristallstruktur data:

CVD TAC beläggningsring

LPE SiC EPI Halfmoon

LED EPI

MOCVD-susceptor med TaC-beläggning

TAC belagd djup UV LED -susceptor

Tantal Carbide TAC belagd halvmoon

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress