Tantal Carbide Coating Support

Veteks halvledarens huvudfunktionTantal Carbide (TAC) beläggningSupport är att förbättraVärmemotstånd, slitmotstånd och korrosionsmotståndav underlaget genom att belägga ett lager av tantalkarbidbeläggning för att förbättra processens noggrannhet och tillförlitlighet och förlänga komponenternas livslängd. Det är en högpresterande beläggningsprodukt som används inom området halvledarbearbetning.

Vetek Semiconductors Tantalum Carbide Coating Suppor har en MOHS -hårdhet på nästan 9 ~ 10, andra endast till diamant. Den har extremt stark slitmotstånd och kan effektivt motstå ytslitage och påverkan under bearbetningen, vilket effektivt förlänger utrustningskomponenternas livslängd. Kombinerat med dess höga smältpunkt på cirka 3880 ° C används den ofta för beläggning av nyckelkomponenter i halvledarutrustning, såsom ytbeläggningar av stödstrukturer, värmebehandlingsutrustning, kammare eller packningar i halvledarutrustning för att förbättra dess slitmotstånd och hög temperaturmotstånd.

På grund av den extremt höga smältpunkten för tantalkarbid på cirka 3880 ° C, i halvledarbearbetningsprocesser somkemisk ångavsättning (CVD)ochFysisk ångavsättning (PVD), TAC -beläggning med stark hög temperaturresistens och kemisk korrosionsbeständighet kan effektivt skydda utrustningskomponenter och förhindra korrosion eller skador på underlaget i extrema miljöer, vilket ger ett effektivt skydd för miljöer med hög temperatur vid skivtillverkning. Denna funktion bestämmer också att Vetek Semiconductors Tantalum karbidbeläggningsstöd ofta används i etsning och frätande processer.

Tantal Carbide Coating Support har också funktionen att minska partikelföroreningar. Under skivbearbetning producerar ytslitning vanligtvis partikelföroreningar, vilket påverkar produktkvaliteten på skivan. TAC-beläggningens extrema produktegenskaper hos nära 9-10 MOHS-hårdhet kan effektivt minska detta slitage och därmed minska genereringen av partiklar. Kombinerat med TAC -beläggningens utmärkta värmeledningsförmåga (cirka 21 W/m · K) kan den upprätthålla god värmeledningsförmåga under höga temperaturförhållanden och därigenom förbättra utbytet och konsistensen av skivtillverkning.

Vetek Semiconductors huvudsakliga TAC -beläggningsprodukter inkluderarTAC -beläggningsvärmare, CVD TAC -beläggningsområde, TAC -beläggningsrotationssusceptorochTAC -beläggning av reservdel, etc. och support anpassade produkttjänster. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla utmärkta produkter och tekniska lösningar för halvledarindustrin. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

Tantal Carbide (TAC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD TAC -beläggning：