TAC beläggningsguide

VeTek Semiconductor är en professionell Kina TaC Coating Guide Ring, TaC coating Crucible, fröhållare tillverkare och leverantör.

TaC-beläggning Degel, fröhållare och TaC-beläggningsguidering i SiC- och AIN-enkristallugn odlades med PVT-metoden.

När den fysiska ångtransportmetoden (PVT) används för att framställa SiC, är frökristallen i området med relativt låg temperatur, och SiC-råmaterialet är i området med relativt hög temperatur (över 2400 ℃). Råmaterialnedbrytningen producerar SiXCy (främst inklusive Si, SiC₂, Si₂C, etc.). Ångfasmaterialet transporteras från högtemperaturområdet till frökristallen i lågtemperaturområdet och kärnar och växer. Att bilda en enda kristall. De termiska fältmaterial som används i denna process, såsom degel, flödesstyrring, frökristallhållare, bör vara resistenta mot höga temperaturer och kommer inte att förorena SiC-råmaterial och SiC-enkristaller. På liknande sätt måste värmeelementen i tillväxten av AlN-enkristaller vara resistenta mot Al-ånga, N2-korrosion och måste ha en hög eutektisk temperatur (och AlN) för att förkorta kristallberedningsperioden.

Det visade sig att SiC och AlN som framställts av TaC-belagda grafittermiska fältmaterial var renare, nästan inget kol (syre, kväve) och andra föroreningar, färre kantdefekter, mindre resistivitet i varje region, och mikropordensiteten och etsgropstätheten var reducerades avsevärt (efter KOH-etsning), och kristallkvaliteten förbättrades avsevärt. Dessutom är viktminskningshastigheten för TaC-degeln nästan noll, utseendet är oförstörande, kan återvinnas (livslängd upp till 200h), kan förbättra hållbarheten och effektiviteten hos en sådan enkristallberedning.

Produktparameter för TaC Coating Guide Ring:

Produktionsbutiker:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: