Kiselkarbid wafer chuck

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck använder de utmärkta egenskaperna hos kiselkarbidmaterial för att uppfylla de stränga kraven i halvledarproduktion, särskilt vid halvledarbearbetning som kräver extremt hög precision och tillförlitlighet.

I halvledarbehandlingsprocessen,Kiselkarbidhar utmärkt hög temperaturmotstånd (kan arbeta stabilt vid upp till 1400 ° C), låg konduktivitet (SIC har en relativt låg konduktivitet, vanligtvis 10^^-3S/m) och låg värmeutvidgningskoefficient (cirka 4,0 × 10^^-6/° C), som är ett oundgängligt och viktigt material, särskilt lämpligt för tillverkning av kiselkarbid -skivchuck.

Underepitaxial tillväxtprocess, ett tunt skikt av halvledarmaterial avsätts på ett underlag, vilket kräver absolut stabilitet från skivan för att säkerställa enhetliga och högkvalitativa filmavlagringsskikt. Sic Vacuum Chuck uppnår detta genom att skapa ett fast, konsekvent vakuumhåll för att förhindra någon rörelse eller deformation av skivan.

Kiselkarbid Wafer Chuck erbjuder också utmärkt motstånd mot termisk chock. Snabba temperaturförändringar är vanliga vid halvledartillverkning, och material som inte kan tåla dessa fluktuationer kan spricka, böjas eller misslyckas. Kiselkarbid har en låg värmekoefficient och kan bibehålla sin form och funktion även under drastiska temperaturförändringar, vilket säkerställer att skivan förblir säker under epitaxiprocessen utan rörelse eller felanpassning.

Dessutomepitaxprocessofta involverar reaktiva gaser och andra frätande kemikalier. Den kemiska inertheten hos Sic Wafer Chuck säkerställer att den inte påverkas av dessa hårda miljöer, upprätthåller dess prestanda och förlänger dess livslängd. Denna kemiska hållbarhet minskar inte bara frekvensen av wafer chuck ersättning, utan säkerställer också konsekventa produktprestanda jämfört med flera produktionscykler, vilket hjälper till att förbättra den totala effektiviteten och kostnadseffektiviteten i halvledarprocessen.

Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av Silicon Carbide Wafer Chuck Products i Kina. Vi kan tillhandahålla olika typer av chuckprodukter somPorös Sic Ceramic Chuck, Porös Sic Vacuum Chuck, Porös keramisk vakuumchuckochTAC -belagd chuck, etc. Vetek Semiconductor har åtagit sig att tillhandahålla avancerad teknik och produktlösningar för halvledarindustrin. Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.

Sem data om CvdSic Film Crystal Structure：

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Wafer Chuck Shops：