kiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmare

Det halvledare Kiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmareKombinerar den utmärkta elektriska och värmeledningsförmågan hos grafit med hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet och slitmotstånd hos kiselkol keramisk beläggning och är utformad för hårda halvledarproduktionsmiljöer. 

Kiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmareanvänds huvudsakligen i vakuumbeläggningsutrustning (avdunstning), och de metoder som vanligtvis används är PCD (plasatemisk torkning) och PVD (fysisk ångavsättning). Denna produkt har spelat en viktig roll för att främja teknisk framsteg och förbättra produktionseffektiviteten inom halvledarindustrin.Vi ser uppriktigt fram emot ytterligare samarbete med dig.

Materialet och strukturella egenskaper hos kiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmare är följande:

Grafitunderlag: Grafit är känd för sin höga värmeledningsförmåga och låga värmeutvidgningskoefficient. Den kan snabbt reagera på temperaturförändringar och upprätthålla strukturell stabilitet vid höga temperaturer.

Kiselkol keramisk beläggning: SIC -beläggning är jämnt belagd på grafitytan genom kemisk ångavsättning eller andra avancerade processer. SIC har extremt hög hårdhet och kemisk korrosionsbeständighet, vilket kan skydda grafitunderlaget från hög temperaturoxidation och frätande miljöer.

Den speciella produktens strukturella design av kiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmare bestämmerDe oföränderliga produktfördelarna med denna produkt i halvledarbearbetningsprocessen:

Effektiv och enhetlig uppvärmning:

Termisk konduktivitet: Den höga värmeledningsförmågan för grafit gör det möjligt för värmaren att snabbt nå och upprätthålla den erforderliga temperaturen, och SIC -beläggningen säkerställer enhetlig fördelning av värme. Detta är särskilt viktigt för halvledarprocesser som kräver exakt temperaturkontroll, såsom snabb termisk bearbetning (RTP) och kemisk ångavsättning (CVD).

Temperaturens enhetlighet: Genom enhetlig värmefördelning kan kiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmare effektivt minska termisk stress och temperaturgradient, vilket säkerställer konsistensen och kvalitetsstabiliteten hos halvledarskivor under hela uppvärmningsprocessen.

Antikorrosionsskydd:

Kemisk motstånd: Den kemiska korrosionsresistensen för SIC -beläggning gör det möjligt för värmaren att fungera stabilt och under lång tid i frätande gas och kemiska miljöer, vilket undviker skador på grafitunderlaget. Denna funktion är särskilt kritisk i processer såsom kemisk ångavsättning (CVD) och plasmaförbättrad kemisk ångavsättning (PECVD).

Oxidationsmotstånd: Vid höga temperaturer kan SIC -beläggning förhindra oxidation av grafitunderlaget, förlänga värmarens livslängd och minska frekvensen och kostnaden för underhåll av utrustning.

Minska partikelföroreningar:

Ytstabilitet: SIC-beläggning är inte bara slitstöd, utan förhindrar också att partiklar faller från materialytan på grund av termisk cykling eller kemiska reaktioner, vilket minskar risken för partikelföroreningar som kan uppstå under halvledartillverkning och säkerställa en högkörd processmiljö.

Förbättra processens tillförlitlighet och effektivitet:

Långa livsdesign: På grund av kombinationen av den mekaniska styrkan hos grafit och slitmotståndet för SIC-beläggning, kan kiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmare upprätthålla högeffektiv drift under lång tid under hårda processförhållanden, vilket förbättrar utrustningens totala tillförlitlighet.

Effektivt energianvändning: Den höga värmeledningsförmågan hos grafit och hög temperaturstabilitet för SIC-beläggning gör det möjligt för värmaren att minska energiförbrukningen samtidigt som temperaturkontrollens noggrannhet förbättras och därmed förbättra den totala effektiviteten i halvledarproduktionen.

Grundläggande fysiska egenskaper hosKiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmare:

Det halvledareKiselkarbid keramisk beläggningsgrafitvärmarebutiker:

Översikt över Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain:

/annan process