Kiselkarbid keramisk beläggning

Det halvledare Kiselkarbid keramisk beläggningär ett högpresterande skyddande beläggning av extremt hårda och slitstant kiselkarbidmaterial (SIC), som ger utmärkt kemisk korrosionsbeständighet och hög temperaturstabilitet. Dessa egenskaper är avgörande i halvledarproduktion, så kiselkarbid keramisk beläggning används allmänt på viktiga komponenter i halvledarutrustning.

Den specifika roll som Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating in Semiconductor Production ärpå följande sätt:

Förbättra utrustningens hållbarhet: Kiselbeläggning av kiselkarbid ger utmärkt ytskydd för tillverkning av halvledarstillverkning med sin extremt höga hårdhet och slitmotstånd. Speciellt i högtemperatur, mycket frätande processmiljöer, såsom kemisk ångavsättning (CVD) och plasmaetning, kan kiselkolon-keramisk beläggning effektivt förhindra skador på utrustningens yta på grund av kemisk erosion eller fysisk slitage, vilket avsevärt förlänger utrustningens livslängd och minskar driftstopp som orsakas av utbyte och underhåll.

Förbättra processrenheten: I halvledartillverkningsprocessen kan all liten förorening orsaka produktfel. Den kemiska inertheten hos kiselbeläggning av kiselkarbid gör det möjligt för den att förbli stabil under extrema förhållanden, förhindra att materialet släpper partiklar eller föroreningar och säkerställer miljöns renhet under processen. Detta är särskilt viktigt för tillverkningssteg som kräver hög precision och hög renlighet, såsom PECVD och jonimplantation.

Optimera termisk hantering: I halvledarbearbetning av hög temperatur, såsom snabb termisk bearbetning (RTP) och oxidationsprocesser, möjliggör den höga värmeledningsförmågan hos kiselbeläggning av kiselkarbid en enhetlig temperaturfördelning i utrustningen. Detta hjälper till att minska termisk stress och materialdeformation orsakad av temperaturfluktuationer, vilket förbättrar produkttillverkningsnoggrannheten och konsistensen.

Stöd komplex processmiljö: I processer som kräver komplex atmosfärskontroll, såsom ICP-etsning och PSS-etsningsprocesser, säkerställer stabiliteten och oxidationsmotståndet för kiselkarbid-keramisk beläggningsvärmare stabila prestanda för utrustningen vid långvarig drift, vilket minskar risken för materiella nedbrytning eller utrustning på grund av miljöförändringar.

Det halvledarefokuserar på tillverkning och leverans av högpresterandeKiselkarbid keramisk beläggningoch är engagerad i att tillhandahålla avancerad teknik och produktlösningar för halvledarindustrin.Vi hoppas verkligen vara din långsiktiga partner i Kina.

Grundläggande fysiska egenskaper hosKiselkarbid keramisk beläggning:

Det halvledare Silicon Carbide Ceramic Coating Shops:

Översikt över Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: