CVD SIC -beläggningsvärmeelement

CVD SIC -beläggningsuppvärmelement används huvudsakligen i utrustning för PVD (fysisk ångavsättning). I förångningsprocessen upphettas materialet för att uppnå indunstning eller sputtering, och slutligen bildas en enhetlig tunn film på underlaget.

Ⅰ.Specifik applikation

Tunnfilmavlagring: CVD SIC -beläggningsuppvärmelement används i förångningskälla eller sputteringskälla. Genom uppvärmning värmer elementet materialet som ska avsättas till en hög temperatur, så att dess atomer eller molekyler separeras från materialets yta och bildar därmed ånga eller plasma. Vårt värmeelementbaserade SIC -beläggning kan också direkt värma vissa metall- eller keramiska material för att avdunsta eller sublimera dem i en vakuummiljö för användning som en materialkälla i PVD -processen. Eftersom strukturen har koncentriska spår kan den bättre kontrollera den nuvarande vägen och värmefördelningen för att säkerställa enhetens enhetlighet.

Schematiskt diagram över förångningspvd -processen

Ⅱ.Arbetsprincip

Resistiv uppvärmning, när strömmen passerar genom motståndsvägen för den SIC -belagda värmaren, genereras Joule -värmen och därigenom uppnår effekten av uppvärmning. Den koncentriska strukturen gör att strömmen kan fördelas jämnt. En temperaturkontrollanordning är vanligtvis ansluten till elementet för att övervaka och justera temperaturen.

Ⅲ.Material och strukturell design

CVD SiC-beläggningsuppvärmelement är tillverkat av grafit med hög renhet och SIC-beläggning för att hantera hög temperaturmiljö. Själva hög renhetsgrafit har i stor utsträckning använts som ett termiskt fältmaterial. Efter att ett lager av beläggning appliceras på grafitytan med CVD-metoden förbättras dess högtemperaturstabilitet, korrosionsbeständighet, termisk effektivitet och andra egenskaper ytterligare.

Utformningen av koncentriska spår gör det möjligt för strömmen att bilda en enhetlig slinga på skivytan. Det uppnår enhetlig värmefördelning, undviker lokal överhettning orsakad av koncentration i vissa områden, minskar ytterligare värmeförlust orsakad av nuvarande koncentration och förbättrar därmed uppvärmningseffektiviteten.

CVD SiC -beläggningsvärmeelementet består av två ben och en kropp. Varje ben har en tråd som ansluter till strömförsörjningen. Vetek halvledare kan göra delar eller delade delar i ett stycke, det vill säga benen och kroppen görs separat och sedan monteras. Oavsett vilka krav du har för CVD SIC -belagda värmare, vänligen kontakta oss. Veteksemi kan tillhandahålla de produkter du behöver.

Grundläggande fysiska egenskaper hos CVD SIC -beläggning ：