kiselkarbid keramisk beläggningsvärmare

Det halvledareKiselkarbid keramisk beläggningsvärmare är en värmare utformad för hög temperatur och hårda miljöer. Den täcker ett lager av kiselkol keramisk beläggning (SIC) på ytan av värmelementet för att ge utrustningen utmärkt värmemotstånd, korrosionsbeständighet och värmeledningsförmåga. 

Kiselkarbid keramisk beläggningsvärmareanvänds huvudsakligen i vakuumbeläggningsutrustning (avdunstning). De vanligt använda metoderna är PCD (kemisk torkning av plasmat) och PVD (fysisk ångavsättning), som används allmänt vid halvledartillverkning och andra industriella applikationer med hög efterfrågan.

Kombinerat med den högpresterande beläggningsdesignen för kiselkarbid keramisk beläggning,Det kan ge en utmärkt uppvärmningslösning för högtemperaturprocesser.

Utmärkt värmeledningsförmåga: SIC -material har utmärkt värmeledningsförmåga, vilket säkerställer att värmaren kan uppnå enhetlig värmefördelning i arbetsområdet och minska temperaturgradienter.

Ge enhetlig värmefördelning: Kiselkarbid keramisk beläggningsvärmare använder den höga värmeledningsförmågan hos SIC -material för att uppnå enhetlig temperaturfördelning i hela värmeområdet. Detta är avgörande för att säkerställa enhetlig värmebehandling av halvledarskivor i olika högtemperaturprocesser såsom snabb termisk bearbetning (RTP), diffusion och oxidation, vilket undviker produktfel orsakade av lokal överhettning eller ojämn temperatur.

Hög temperaturtolerans: SIC-beläggning gör det möjligt för värmaren att motstå extremt höga temperaturer, vanligtvis upp till 1600 ° C, lämpligt för olika högtemperaturbearbetningsprocesser.

Förbättra värmebeständigheten: Eftersom beläggningen tål extremt höga temperaturer fungerar den bra i processer som kräver långvarig hög temperatur. I kemisk ångavlagringsprocesser (CVD) kan till exempel kiselkarbid keramisk beläggningsvärmare säkerställa en långvarig stabil drift av utrustningen vid höga temperaturer och upprätthålla konsekvent värmeprestanda, vilket förbättrar processen för repeterbarhet och tillförlitlighet.

Kemisk korrosionsmotstånd: SIC -beläggning har extremt hög resistens mot syra, alkali och frätande gaser, och kan förbli stabil under lång tid i en komplex kemisk atmosfärmiljö, vilket förlänger utrustningens livslängd. 

Förlänga utrustningens livslängd: SIC -beläggning har utmärkt oxidationsresistens och korrosionsbeständighet och kan effektivt motstå kemisk erosion och oxidation vid höga temperaturer. Detta är mycket kritiskt i halvledartillverkningsprocessen, särskilt i en miljö som hanterar frätande gaser och kemikalier. Den skyddande effekten av beläggningen kan avsevärt förlänga värmarens livslängd och minska frekvensen av utrustningsutbyte och underhållskostnader.

Grundläggande fysiska egenskaper hos kiselkarbid keramisk beläggningsvärmare:

Vetek Semiconductor Silicon Carbide Ceramic Coating Heater Shops:

Översikt över Vetek Semiconductor Chip Epitaxy Industry Chain: