Keramisk elektrostatisk chuck

Halvledarproduktionsprocesser, särskilt skivbehandling, utförs i en vakuummiljö, och mekaniskt klämda skivor bär 

vissa risker. När kraften är koncentrerad på klämpunkten kan spröda kiselskivor tappa små fragment, vilket orsakar allvarliga skador på skivproduktionen.

I detta fall blir den keramiska elektrostatiska chucken ett bättre val, som fixar skivan med elektrostatisk kraft. Den elektrostatiska kraften verkar jämnt på skivan, så att skivan kan fixas platt och förbättra processens noggrannhet.

Enligt relevanta forskningsdokument har keramisk elektrostatisk chuck starkare sug än andra elektrostatiska chuckar. Till exempel har keramisk elektrostatisk chuck mycket starkare sug än elektrostatisk chuck av husdjur.

Keramikchuck är vanligtvis tillverkad av högpresterande keramiska material såsom Al2O3, ALN eller SIC, som har hög värmebeständighet, isolering och korrosionsbeständighet. Porös SiC-keramisk chuck är inte bara stabil vid extrema temperaturer, utan förhindrar också effektivt keramisk e-chuck från nedbrytning på grund av kemiska reagens och plasma-etsning under tillverkningsprocessen.

Temperaturkontroll: Den höga värmeledningsförmågan och stabila termiska egenskaperna hos keramiska material gör det möjligt för aluminiumoxidkeramiska vakuumchuck att effektivt kontrollera temperaturen och därmed optimera temperaturfördelningen under processen.

Vakuumanpassningsförmåga: Keramisk elektrostatisk chuck är lämplig för vakuummiljöer, särskilt i etsningsprocesser med låg tryck och högprecision.

Låg partikelgenerering: Porös Sic Ceramic E-Chuck har en slät yta, vilket kan minska partikelföroreningar under skivfixering och hjälpa till att förbättra produktutbytet.

Tillämpning: Huvudsakligen används vid halvledartillverkning, avtagbar keramisk elektrostatisk chuck som ger exakta positionering och stabilitet, vilket är mycket användbart för litografi, etsning och andra tillverkningsprocesser för halvledarbekämpning. Se till att skivan är intakt under bearbetningen och förbättra kvaliteten på chipproduktionen.

Det halvledareCeramic E-Chuck Production Shops: