Från tillverkningsprocessen för elektrostatiska sugkoppar till massproduktionstillverkare

Dechuck -principen förElektrostatisk chuckär en viktig del av dess arbetsflöde som involverar eliminering av elektrostatisk kraft och mästare frisättningsmekanismer. Följande är en detaljerad analys:

Dechucks kärna är att eliminera eller neutralisera den elektrostatiska kraften adsorberad på skivan, och de specifika metoderna inkluderar:

YoudaoplaceHolder0 avbryta kraften

Sluta applicera en likströmspänning på elektroden för att gradvis eliminera det elektriska fältet.

YoudaoplaceHolder0 omvänd spänning eller gasinjektion ‌

Vissa system kommer att applicera omvänd spänning eller introducera inerta gaser (som han, n₂) för att påskynda laddningsneutralisering eller fysisk separering.

Låt oss jämföra de professionella teknikerna för ESC -produktion och se först om företaget kan nå en sådan skala.

CAE -analysteknik, plattfunktionella material, elektroddesign, analysteknik, kylkanalteknologi, värmedesignteknologi, äldre personal inom halvledarutrustning.

Japanska och sydkoreanska företag måste vara fullt bemannade med sådan relevant personal. Om inte, finns det inget behov av att prata om företagets teknik.

Chuck -tekniken, elektroderna, skivorna och till och med HE -flödesprincipen har inte klargjorts ännu. Låt oss göra en grov elektrostatisk sugkopp. Sådana företag vidarebefordras direkt. De används i princip för att töja investerarnas pengar. Detta är den grundläggande nivån för att veta hur. Investerare bör också ge upp ett företag som spelar med kortspel och inte har några anställda med över 10 års erfarenhet av etsningsutrustning, eftersom detta inte är ett företag som gör praktiska saker.

När det gäller pulverfyrning i branschen är alla inom samma område. Var och en har sin egen unika formel. Vilken har inte styrkan att vara utrustad med sintrade keramiska ytor? Investerare kan också vidarebefordra dessa konfigurationer eller företag som inte helt har tagit tag i dem, eftersom deras grundläggande logik är densamma: de syftar till att tjäna pengar, inte att utveckla produkter.

När det gäller reparation bör många inhemska företag ha motsvarande kapacitet för L1 till L3 nu. Även om kapaciteten saknas lite kan L1 fortfarande hantera det. För L3 och högre kan antingen inte repareras eller det kan underleverantör. I alla fall finns det fortfarande ett sätt att reparera det.

L1 reparation av ytreparation, förbättring av ytråhet/förbättring/ojämnhet för planhet.

L2-reparation: Joint Layer Repair, Rebonding of Metal Base och Ceramic Disc/Re-Filling of Joint Layer.

L3 -reparation keramisk diskersättning, keramisk skivtillverkning/rebonding av metallbas och keramisk disk.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

Företaget har en ledande position inom design och produktion av inhemska elektrostatiska chuckar och utrustning baserad på elektrostatiska chuckar som kärnteknik. För närvarande har Haituo Innovation uppnått kommersiell produktion av elektrostatiska sugkoppar och har slutfört leveransen av 4-tums till 12-tums halvledare Fab elektrostatiska chucks.

Peking Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

De elektrostatiska sugkopparna som är oberoende utvecklade av företaget följer relevanta standarder och bearbetningKrav från halvledarindustrin. De 12-tums PVD-aluminiumnitridelektrostatiska sugkopparna som utvecklats i det tidiga stadiet har i viss utsträckning brutit det långsiktiga monopolet för utländska tillverkare inom detta produktfält. För närvarande har Huazhuo Jingke använt den relaterade tekniken för elektrostatiska sugkoppar på produkttillverkning och uppnått småskalig massproduktion. Det kan också tillhandahålla anpassade produkter för kunder.

Grundades 2016, är en ledande leverantör av avancerade beläggningsmaterial för halvledarindustrin. Vår grundare, en tidigare expert från Chinese Academy of Sciences 'Institute of Materials, etablerade företaget med fokus på att utveckla banbrytande lösningar för branschen.

Våra huvudproduktutbud inkluderar CVD-kiselkarbidbeläggningar (SIC) -beläggningar, tantalkarbid (TAC) -beläggningar, bulk SIC, SIC-pulver och SIC-material med hög renhet. Huvudprodukterna är SIC -belagda grafit -susceptor, förvärmningsringar, TAC -belagda avledningsring, halvmoondelar, etc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundens krav.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

De elektrostatiska sugkoppprodukterna som utvecklats av den har prestationsindikatorer som kan uppfylla kraven från chiptillverkningsföretag. De har enastående egenskaper som kontrollerbar temperatur, enhetlig adsorptionskraft, inga repor eller rynkor under adsorption och ingen kantuteslutningseffekt på skivor. De har certifierats av ledande inhemska halvledarindustriföretag som Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics och North China Innovation och har uppnått försäljning. Det har brutit monopolet på utländska tillverkare inom detta produktfält.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

År 2022 gjorde företaget strategiska rörelser inom området för keramiska komponenter i precisionen och uppnådde lokalisering av mycket tekniska precisionsdelar såsom värmplattor och elektrostatiska chuckar. De viktigaste tekniska indikatorerna för de keramiska värmelatterna som utvecklats av Zhongci Electronics har nått nivån på liknande internationella produkter och har verifierats av användare. De har applicerats i partier i viktig inhemsk halvledarutrustning. Keramiska uppvärmningsplattor har levererats i bulk, och elektrostatiska chuckar har skickats för provtestning.