Solid SiC Focus Ring

6.Huvudapplikationsfält

7. Veteksi solid SiC fokusring kärnfördelar

Utmärkt plasmakorrosionsbeständighet

Vid långvarig exponering för starkt frätande plasma med hög densitet som CF4, O2 och Cl2 är konventionella material mottagliga för snabbt slitage och partikelkontamination. Vår solida SiC-fokusring uppvisar utmärkt korrosionsbeständighet, med en korrosionshastighet som är mycket lägre än för material som kvarts eller aluminiumoxid. Detta innebär att den bibehåller en slät yta över tiden, vilket avsevärt minskar risken för waferdefekter orsakade av komponentslitage, vilket säkerställer kontinuerlig och stabil massproduktion.

Utmärkt hög temperaturstabilitet och värmehanteringsprestanda

Halvledaretsningsprocessen genererar betydande värme, vilket gör att kammarkomponenter upplever dramatiska temperaturfluktuationer. Våra fokusringar har en extremt låg värmeutvidgningskoefficient, som kan motstå transienta temperaturer upp till 1600°C utan att spricka eller deformeras. Dessutom hjälper deras inneboende höga värmeledningsförmåga att sprida värme jämnt och snabbt, vilket effektivt förbättrar temperaturfördelningen vid skivans kant, vilket förbättrarng etsningslikformighet och konsistens av kritiska dimensioner över hela wafern.

Extraordinär materialrenhet och strukturell densitet

Vi kontrollerar strikt renheten hos kiselkarbidråmaterial (≥99,999%) och eliminerar metallföroreningar under sintringsprocessen för att uppfylla de stränga kraven för avancerade tillverkningsprocesser för kontroll av spårföroreningar. Den täta strukturen som bildas genom högtemperatursintring har extremt låg porositet, vilket nästan helt blockerar inträngningen av processgaser och biprodukter. Detta förhindrar prestandaförsämring och partikeltillväxt orsakad av intern materialnedbrytning, vilket säkerställer en ren processkammaremiljö.

Långvarig mekanisk livslängd och omfattande kostnadseffektivitet

Jämfört med konventionella förbrukningsvaror som kräver ofta utbyte, erbjuder Veteksi solida SiC fokusringar exceptionell hållbarhet. De bibehåller stabila prestanda under hela sin livslängd och förlänger utbytescyklerna flera gånger. Detta minskar inte bara direkt anskaffningskostnaderna för reservdelar utan förbättrar också avsevärt maskinutnyttjandet genom att minska utrustningens stilleståndstid för underhåll, vilket resulterar i betydande totala kostnadsfördelar för kunderna.

Exakt storlekskontroll och flexibla anpassningstjänster

Vi förstår de exakta kraven på olika maskiner och processer för förbrukningsvaror. Varje fokusring genomgår precisionsbearbetning och rigorösa tester för att säkerställa kritiska dimensionstoleranser inom ±0,05 mm. Vi erbjuder även skräddarsydda tjänster, inklusive anpassade storlekar, ytfinish (polering till Ra ≤ 0,2μm) och konduktivitetsjusteringar för att perfekt passa dina specifika processkrav och applikationsscenarier.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, kontakta vårt tekniska supportteam för att utforska hur Veteksemi kan förbättra din processeffektivitet.