TAC belagd grafitstöd

Du är välkommen att komma till vår fabrik VeTek Semiconductor för att köpa den senaste säljande, låga priset och högkvalitativa TaC Coated Graphite Susceptor. Vi ser fram emot att samarbeta med dig.

Tantal -karbid keramiskt material smältpunkt upp till 3880 ℃, är en hög smältpunkt och god kemisk stabilitet hos föreningen, dess höga temperaturmiljö kan fortfarande upprätthålla stabil prestanda, dessutom har den också hög temperaturbeständighet, kemisk korrosionsbeständighet, god kemisk och mekanisk kompatibilitet med kolmaterial och andra egenskaper, vilket gör det till ett idealiskt grafitunderlagsskyddsmaterial. Tantalens karbidbeläggning kan effektivt skydda grafitkomponenterna från påverkan av varm ammoniak, väte och kiselånga och smält metall i den hårda användningsmiljön, avsevärt förlänga grafitkomponenternas livslängd och hämma migrationen av föroreningar i grafiten, säkerställa kvaliteten på epitaxi och kristalltillväxt. Det är främst används i våt keramisk process.

Kemisk ångavsättning (CVD) är den mest mogna och optimala beredningsmetoden för beläggning av tantalkarbid på grafitytan.

CVD TAC -beläggningsmetod för TAC -belagd grafit Susceptor:

Beläggningsprocessen använder TACL5 och propylen som kolkälla respektive tantalkällan, och argon som bärargas för att föra tantal pentakloridånga i reaktionskammaren efter förgasning av hög temperatur. Under måltemperaturen och trycket adsorberas föregångsmaterialets ånga på ytan av grafitdelen, och en serie komplexa kemiska reaktioner såsom sönderdelning och kombination av kolkälla och tantalkälla inträffar. Samtidigt är också en serie ytreaktioner såsom diffusion av föregångaren och desorptionen av biprodukter involverade. Slutligen bildas ett tätt skyddsskikt på ytan av grafitdelen, som skyddar grafitdelen från att vara stabil under extrema miljöförhållanden. Applikationsscenarierna för grafitmaterial utvidgas avsevärt.

Produktparameter för TaC Coated Graphite Susceptor:

Produktionsbutiker:

Översikt över halvledarchipets epitaxiindustrikedja: