Tantalkarbidbeläggning

VeTek semiconductor är en ledande tillverkare av tantalkarbidbeläggningsmaterial för halvledarindustrin. Våra huvudsakliga produkterbjudanden inkluderar CVD-tantalkarbidbeläggningsdelar, sintrade TaC-beläggningsdelar för SiC-kristalltillväxt eller halvledarepitaxiprocess. Godkänt ISO9001, VeTek Semiconductor har bra kontroll på kvaliteten. VeTek Semiconductor är dedikerade till att bli innovatör inom tantalkarbidbeläggningsindustrin genom pågående forskning och utveckling av iterativ teknologi.

Huvudprodukterna ärTaC-belagd styrring, CVD TaC-belagd styrring med tre kronblad, Tantalkarbid TaC-belagd halvmåne, CVD TaC-beläggning planetär SiC epitaxiell susceptor, Tantalkarbidbeläggningsring, Tantalkarbidbelagd porös grafit, TaC Coating Rotations Susceptor, Tantalkarbidring, TaC Beläggning Rotationsplatta, TaC-belagd wafer-susceptor, TaC-belagd deflektorring, CVD TaC beläggningsskydd, TaC-belagd chucketc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundernas krav.

TaC-beläggningsgrafit skapas genom att belägga ytan på ett högrent grafitsubstrat med ett fint lager av tantalkarbid genom en patenterad process för kemisk ångavsättning (CVD). Fördelen visas på bilden nedan:

Excellent properties of TaC coating graphite

Tantalkarbidbeläggningen (TaC) har fått uppmärksamhet på grund av sin höga smältpunkt på upp till 3880°C, utmärkta mekaniska hållfasthet, hårdhet och motståndskraft mot termiska stötar, vilket gör den till ett attraktivt alternativ till sammansatta halvledarepitaxiprocesser med högre temperaturkrav, såsom Aixtron MOCVD-system och LPE SiC epitaxiprocess. Den har också en bred tillämpning i PVT-metoden SiC kristalltillväxtprocess.

Nyckelfunktioner:

●Temperaturstabilitet

●Ultrahög renhet

●Motstånd mot H2, NH3, SiH4,Si

●Motstånd mot termiskt material

●Stark vidhäftning till grafit

●Konform beläggningstäckning

● Storlek upp till 750 mm diameter (den enda tillverkaren i Kina når denna storlek)

Ansökningar:

●Waferbärare

● Induktiv värmemottagare

● Resistivt värmeelement

●Satellitskiva

●Duschhuvud

●Styrring

●LED Epi-mottagare

●Insprutningsmunstycke

●Maskeringsring

● Värmesköld

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

Fysiska egenskaper hos TaC-beläggning
Densitet	14,3 (g/cm³)
Specifik emissionsförmåga	0.3
Termisk expansionskoefficient	6,3 10^-6/K
Hårdhet (HK)	2000 HK
Motstånd	1×10^-5Ohm*cm
Termisk stabilitet	<2500℃
Grafitstorleken ändras	-10~-20um
Beläggningstjocklek	≥20um typiskt värde (35um±10um)

TaC-beläggning EDX-data：

EDX data of TaC coating

TaC beläggning kristallstruktur data:

Element	Atomprocent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Genomsnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck TaC Coating Planetary Disk
TaC belagd platta TaC Beläggning Rotationsplatta TaC-beläggningsmottagare CVD TaC-beläggningsskydd CVD TaC beläggningsring TaC beläggningsplatta

View as

Tantal Carbide Coated Tube för kristalltillväxt

Tantal Carbide Coated Tube för kristalltillväxt används huvudsakligen i SIC -kristalltillväxtprocessen. Vetek Semiconductor har levererat Tantalum Carbide Coated Tube för kristalltillväxt i många år och har arbetat inom TAC -beläggningen i många år. Våra produkter har hög renhet och hög temperaturmotstånd. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina. Fråga oss gärna.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TaC-belagd ring för SiC epitaxialreaktor

VeTek Semiconductor är en ledande tillverkare och teknologiinnovatör av TaC Coated Ring for SiC Epitaxial Reactor i Kina, med fokus på att tillhandahålla högpresterande lösningar för SiC epitaxialreaktorer. Vi har många års erfarenhet av TaC-beläggningsteknik. TaC Coated Ring har egenskaperna hög renhet, hög stabilitet, utmärkt korrosionsbeständighet, etc., och kan ge långsiktigt stabil prestanda i den hårda arbetsmiljön för epitaxiella reaktorer. Vi ser fram emot att etablera ett långsiktigt strategiskt partnerskap med dig.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Tantalkarbidbelagd halvmånedel för LPE

VeTek Semiconductor är en ledande leverantör av tantalkarbidbelagd Halfmoon Part för LPE i Kina, med fokus på TaC-beläggningsteknik i många år. Vår tantalkarbidbelagda halvmånedel för LPE är designad för epitaxiprocess i vätskefas och tål höga temperaturer på över 2000 grader Celsius. Med utmärkt materialprestanda och processinnovation är vår produktlivslängd på den ledande nivån i branschen. VeTek Semiconductor ser fram emot att vara din långsiktiga partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TAC belagd guidring

TAC-belagd guidring är tillverkad av högkvalitativ grafit och TAC-beläggning. Vid framställningen av SIC -kristaller med PVT -metod används Vetek Semiconductors TAC -belagda guidring huvudsakligen för att vägleda och kontrollera luftflödet, optimera den enskilda kristalltillväxtprocessen och förbättra enkelkristallutbytet. Med utmärkt TAC -beläggningsteknik har våra produkter utmärkt hög temperaturmotstånd, korrosionsbeständighet och goda mekaniska egenskaper.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva

Vetek Semiconductor är en ledande tillverkare och leverantör av Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk i Kina, med fokus på TAC -beläggningsteknologi under många år. Våra produkter har hög renhet och utmärkt hög temperaturmotstånd, som är allmänt erkända av halvledartillverkare. Vetek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Planetary Rotation Disk har blivit ryggraden i Wafer Epitaxy -industrin. Vi ser fram emot att skapa ett långsiktigt partnerskap med dig för att gemensamt främja teknisk framsteg och produktionsoptimering.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

TaC Coated Graphite Wafer Carrier

Vetek Semiconductor har noggrant utformat TAC -belagda grafitskivbärare för kunder. Den består av högren grafit och TAC-beläggning, som är lämplig för olika skivepitaxial skivbehandling. Vi har varit specialiserade på SIC och TAC -beläggning i många år. Jämfört med SIC-beläggning har vår TAC-belagda grafitskivbärare en högre temperaturmotstånd och slitstöd. Vi ser fram emot att bli din långsiktiga partner i Kina.

Visa mer >> Skicka förfrågan >>

Som professionell Tantalkarbidbeläggning tillverkare och leverantör i Kina har vi vår egen fabrik. Oavsett om du behöver anpassade tjänster för att tillgodose de specifika behoven i din region eller vill köpa avancerad och hållbar Tantalkarbidbeläggning tillverkad i Kina, kan du lämna ett meddelande till oss.

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-post
anny@veteksemi.com
Adress
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang -provinsen, Kina

Webbmeny

Produktsökning

Språk

Avsluta menyn

Tantalkarbidbeläggning

Nyckelfunktioner:

Ansökningar:

Tantalkarbid (TaC) beläggning på ett mikroskopiskt tvärsnitt:

Parameter för VeTek Semiconductor Tantalkarbidbeläggning:

TaC-beläggning EDX-data：

TaC beläggning kristallstruktur data:

Tantal Carbide Coated Tube för kristalltillväxt

TaC-belagd ring för SiC epitaxialreaktor

Tantalkarbidbelagd halvmånedel för LPE

TAC belagd guidring

Tantalkarbidbelagd planetrotationsskiva

TaC Coated Graphite Wafer Carrier

Skicka förfrågan

QR-kod

Om oss

Produkter

Kontakta oss

Telefon

Fax

E-post

Adress