Produkter

Veteksemicon SiC-belagd epitaxialreaktorkammare är en kärnkomponent designad för krävande epitaxiella halvledartillväxtprocesser. Genom att använda avancerad kemisk ångavsättning (CVD), bildar denna produkt en tät, högren SiC-beläggning på ett höghållfast grafitsubstrat, vilket resulterar i överlägsen högtemperaturstabilitet och korrosionsbeständighet. Det motstår effektivt de korrosiva effekterna av reaktantgaser i processmiljöer med hög temperatur, undertrycker avsevärt partikelförorening, säkerställer konsekvent epitaxiell materialkvalitet och högt utbyte och förlänger avsevärt underhållscykeln och livslängden för reaktionskammaren. Det är ett nyckelval för att förbättra tillverkningseffektiviteten och tillförlitligheten för halvledare med breda bandgap som SiC och GaN.

Silicon Cassette Boat från Veteksemicon är en precisionskonstruerad waferbärare som utvecklats speciellt för högtemperaturhalvledarugnar, inklusive oxidation, diffusion, drive-in och glödgning. Tillverkad av kisel med ultrahög renhet och bearbetad till avancerade föroreningskontrollstandarder, ger den en termiskt stabil, kemiskt inert plattform som nära matchar egenskaperna hos kiselwafers själva. Denna inriktning minimerar termisk stress, minskar glidning och defektbildning och säkerställer exceptionellt jämn värmefördelning genom hela partiet

I kärnprocessen för epitaxiell tillväxt av kiselkarbid förstår Veteksemicon att susceptorprestanda direkt bestämmer kvaliteten och produktionseffektiviteten för det epitaxiella lagret. Våra EPI-susceptorer med hög renhet, designade speciellt för SiC-fältet, använder ett speciellt grafitsubstrat och en tät CVD SiC-beläggning. Med sin överlägsna termiska stabilitet, utmärkta korrosionsbeständighet och extremt låga partikelgenereringshastighet säkerställer de oöverträffad tjocklek och dopningslikformighet för kunder även i hårda processmiljöer med hög temperatur. Att välja Veteksemicon innebär att välja hörnstenen för tillförlitlighet och prestanda för dina avancerade halvledartillverkningsprocesser.

Veteksemicon SiC-belagd grafitsusceptor för ASM är en bärarkomponent i halvledarepitaxialprocesser. Denna produkt använder vår egenutvecklade pyrolytiska kiselkarbidbeläggningsteknik och precisionsbearbetningsprocesser för att säkerställa överlägsen prestanda och en ultralång livslängd i högtemperatur- och korrosiva processmiljöer. Vi förstår djupt de stränga kraven för epitaxiella processer på substratrenhet, termisk stabilitet och konsistens, och vi är engagerade i att ge kunderna stabila, pålitliga lösningar som förbättrar utrustningens övergripande prestanda.

Veteksemicon kvartsdeglar av halvledarkvalitet är viktiga förbrukningsvaror i Czochralskis enkristalltillväxtprocess. Med extrem renhet och överlägsen termisk stabilitet som vårt kärnfokus, är vi angelägna om att förse kunder med högkvalitativa produkter som uppvisar stabil prestanda och utmärkt motståndskraft mot kristallisation under hög temperatur och högt tryck miljöer. Detta säkerställer kvaliteten på kristallstavarna från källan, vilket hjälper tillverkning av halvledarkiselwafer att uppnå högre avkastning och bättre kostnadseffektivitet.

Veteksemicon fokusring är designad speciellt för krävande halvledaretsningsutrustning, speciellt SiC-etsningsapplikationer. Monterad runt den elektrostatiska chucken (ESC), i nära anslutning till skivan, är dess primära funktion att optimera det elektromagnetiska fältfördelningen i reaktionskammaren, vilket säkerställer enhetlig och fokuserad plasmaverkan över hela skivans yta. En högpresterande fokusring förbättrar avsevärt enhetligheten i etsningshastigheten och minskar kanteffekterna, vilket direkt ökar produktutbytet och produktionseffektiviteten.