Produkter

Veteksemicon Solid Silicon Carbide (SiC) Focusing Ring är en kritisk förbrukningsbar komponent som används i avancerade halvledarepitaxi- och plasmaetsningsprocesser, där exakt kontroll av plasmafördelning, termisk enhetlighet och waferkanteffekter är avgörande. Den här fokuseringsringen är tillverkad av fast kiselkarbid av hög renhet och uppvisar exceptionell plasmaerosionsbeständighet, hög temperaturstabilitet och kemisk inerthet, vilket möjliggör tillförlitlig prestanda under aggressiva processförhållanden. Vi ser fram emot din förfrågan.

Tillväxt av kiselkarbidkristaller är en kärnprocess vid tillverkning av högpresterande halvledarenheter. Stabiliteten, precisionen och kompatibiliteten hos utrustning för kristalltillväxt avgör direkt kvaliteten och utbytet av kiselkarbidgöt. Baserat på egenskaperna hos Physical Vapor Transport (PVT) teknologi, har Veteksemi utvecklat en motståndsvärmeugn för tillväxt av kiselkarbidkristaller, vilket möjliggör stabil tillväxt av 6-tums, 8-tums och 12-tums kiselkarbidkristaller med full kompatibilitet med ledande, halvisolerande materialsystem och N-material. Genom exakt kontroll av temperatur, tryck och effekt reducerar den effektivt kristalldefekter som EPD (Etch Pit Density) och BPD (Basal Plane Dislocation), samtidigt som den har låg energiförbrukning och en kompakt design för att möta de höga standarderna för industriell storskalig produktion.

SiC-fröbindningstekniken är en av nyckelprocesserna som påverkar kristalltillväxten. VETEK har utvecklat en specialiserad vakuumvarmpressugn för fröbindning baserat på egenskaperna hos denna process. Ugnen kan effektivt reducera olika defekter som genereras under fröbindningsprocessen, och därigenom förbättra utbytet och den slutliga kvaliteten på kristallgötet.

Veteksemicon SiC-belagd epitaxialreaktorkammare är en kärnkomponent designad för krävande epitaxiella halvledartillväxtprocesser. Genom att använda avancerad kemisk ångavsättning (CVD), bildar denna produkt en tät, högren SiC-beläggning på ett höghållfast grafitsubstrat, vilket resulterar i överlägsen högtemperaturstabilitet och korrosionsbeständighet. Det motstår effektivt de korrosiva effekterna av reaktantgaser i processmiljöer med hög temperatur, undertrycker avsevärt partikelförorening, säkerställer konsekvent epitaxiell materialkvalitet och högt utbyte och förlänger avsevärt underhållscykeln och livslängden för reaktionskammaren. Det är ett nyckelval för att förbättra tillverkningseffektiviteten och tillförlitligheten för halvledare med breda bandgap som SiC och GaN.

Silicon Cassette Boat från Veteksemicon är en precisionskonstruerad waferbärare som utvecklats speciellt för högtemperaturhalvledarugnar, inklusive oxidation, diffusion, drive-in och glödgning. Tillverkad av kisel med ultrahög renhet och bearbetad till avancerade föroreningskontrollstandarder, ger den en termiskt stabil, kemiskt inert plattform som nära matchar egenskaperna hos kiselwafers själva. Denna inriktning minimerar termisk stress, minskar glidning och defektbildning och säkerställer exceptionellt jämn värmefördelning genom hela partiet

I kärnprocessen för epitaxiell tillväxt av kiselkarbid förstår Veteksemicon att susceptorprestanda direkt bestämmer kvaliteten och produktionseffektiviteten för det epitaxiella lagret. Våra EPI-susceptorer med hög renhet, designade speciellt för SiC-fältet, använder ett speciellt grafitsubstrat och en tät CVD SiC-beläggning. Med sin överlägsna termiska stabilitet, utmärkta korrosionsbeständighet och extremt låga partikelgenereringshastighet säkerställer de oöverträffad tjocklek och dopningslikformighet för kunder även i hårda processmiljöer med hög temperatur. Att välja Veteksemicon innebär att välja hörnstenen för tillförlitlighet och prestanda för dina avancerade halvledartillverkningsprocesser.