Produkter

Veteksemi solid SiC fokusring förbättrar etsningslikformigheten och processstabiliteten avsevärt genom att exakt kontrollera det elektriska fältet och luftflödet vid waferkanten. Det används ofta i precisionsetsningsprocesser för kisel, dielektrikum och sammansatta halvledarmaterial, och är en nyckelkomponent för att säkerställa massproduktionsutbyte och långsiktigt tillförlitlig utrustningsdrift.

I de kritiska stegen av rengöring av skivor, etsning och våtetsning är ett kvartsbad med hög renhet mer än bara en behållare; det är den första försvarslinjen för framgång i processen. Metalljonkontamination, termisk chocksprickning, kemisk attack och partikelrester är dolda orsaker till utbytesfluktuationer. Veteksemi är djupt rotad i kvarts av halvledarkvalitet. Varje kvartsbad vi tillverkar är designat för att ge kompromisslös tillförlitlighet och renhet för dina banbrytande processer.

Vår kiselkarbid (SIC) robotarm är utformad för högpresterande skivhantering i avancerad halvledartillverkning. Denna robotarm är gjord av hög renhets kiselkarbid och erbjuder enastående motstånd mot höga temperaturer, plasmakorrosion och kemisk attack, vilket säkerställer tillförlitlig drift i att kräva renrumsmiljöer. Dess exceptionella mekaniska styrka och dimensionella stabilitet möjliggör exakt skivhantering samtidigt som föroreningsrisker minimeras, vilket gör det till ett idealiskt val för MOCVD, epitaxy, jonimplantation och andra kritiska skivhanteringsapplikationer. Vi välkomnar dina förfrågningar.

Veteksemicon är specialiserad på att tillhandahålla anpassade kvartsskivliga båtprodukter för halvledarindustrin. Vår produktlinje inkluderar halvledare smält kvartsglasbåtar, kvarts diffusionsbåtar och anpassade kvartsgödningsbåtar, allmänt används i högprecisionsprocesser såsom diffusion, oxidation och CVD. Veteksemicon insisterar på att tillhandahålla omfattande anpassade tjänster av produkter och teknik. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

Vetekemicon Sic Wafer-båtar används ofta i kritiska högtemperaturprocesser i halvledartillverkning, som fungerar som pålitliga bärare för oxidation, diffusion och glödgningsprocesser för kiselbaserade integrerade kretsar. De utmärker sig också inom tredje generationens halvledarsektor, perfekt lämpad för krävande processer såsom epitaxial tillväxt (EPI) och metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD) för SIC- och GAN-kraftanordningar. De stöder också hög temperaturtillverkning av högeffektiva solceller i den fotovoltaiska industrin. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.

CVD SIC-belagda grafitduschhuvud från Veteksemicon är en högpresterande komponent som är speciellt utformad för halvledarens kemiska ångavlagringsprocesser (CVD). Tillverkad av grafit med hög renhet och skyddad med en kemisk ångavlagring (CVD) kiselkarbid (SIC) beläggning, ger detta duschhuvud enastående hållbarhet, termisk stabilitet och resistens mot frätande processgaser. Ser fram emot ditt ytterligare samråd.