Produkter

Silicon Cassette Boat från Veteksemicon är en precisionskonstruerad waferbärare som utvecklats speciellt för högtemperaturhalvledarugnar, inklusive oxidation, diffusion, drive-in och glödgning. Tillverkad av kisel med ultrahög renhet och bearbetad till avancerade föroreningskontrollstandarder, ger den en termiskt stabil, kemiskt inert plattform som nära matchar egenskaperna hos kiselwafers själva. Denna inriktning minimerar termisk stress, minskar glidning och defektbildning och säkerställer exceptionellt jämn värmefördelning genom hela partiet

I kärnprocessen för epitaxiell tillväxt av kiselkarbid förstår Veteksemicon att susceptorprestanda direkt bestämmer kvaliteten och produktionseffektiviteten för det epitaxiella lagret. Våra EPI-susceptorer med hög renhet, designade speciellt för SiC-fältet, använder ett speciellt grafitsubstrat och en tät CVD SiC-beläggning. Med sin överlägsna termiska stabilitet, utmärkta korrosionsbeständighet och extremt låga partikelgenereringshastighet säkerställer de oöverträffad tjocklek och dopningslikformighet för kunder även i hårda processmiljöer med hög temperatur. Att välja Veteksemicon innebär att välja hörnstenen för tillförlitlighet och prestanda för dina avancerade halvledartillverkningsprocesser.

Veteksemicon SiC-belagd grafitsusceptor för ASM är en kärnbärarkomponent i epitaxiella halvledarprocesser. Denna produkt använder vår egenutvecklade pyrolytiska kiselkarbidbeläggningsteknik och precisionsbearbetningsprocesser för att säkerställa överlägsen prestanda och en ultralång livslängd i högtemperatur- och korrosiva processmiljöer. Vi förstår djupt de stränga kraven för epitaxiella processer på substratrenhet, termisk stabilitet och konsistens, och vi är engagerade i att ge kunderna stabila, pålitliga lösningar som förbättrar utrustningens övergripande prestanda.

Veteksemicon kvartsdeglar av halvledarkvalitet är viktiga förbrukningsvaror i Czochralskis enkristalltillväxtprocess. Med extrem renhet och överlägsen termisk stabilitet som vårt kärnfokus, är vi angelägna om att förse kunder med högkvalitativa produkter som uppvisar stabil prestanda och utmärkt motståndskraft mot kristallisation under hög temperatur och högt tryck miljöer. Detta säkerställer kvaliteten på kristallstavarna från källan, vilket hjälper tillverkning av halvledarkiselwafer att uppnå högre avkastning och bättre kostnadseffektivitet.

Veteksemicon fokusring är designad speciellt för krävande halvledaretsningsutrustning, speciellt SiC-etsningsapplikationer. Monterad runt den elektrostatiska chucken (ESC), i nära anslutning till skivan, är dess primära funktion att optimera det elektromagnetiska fältfördelningen i reaktionskammaren, vilket säkerställer enhetlig och fokuserad plasmaverkan över hela skivans yta. En högpresterande fokusring förbättrar avsevärt enhetligheten i etsningshastigheten och minskar kanteffekterna, vilket direkt ökar produktutbytet och produktionseffektiviteten.

Veteksemicon Silicon Carbide Carrier Plate For LED Etching, speciellt designad för LED-chiptillverkning, är en kärna förbrukningsvara i etsningsprocessen. Tillverkad av precisionssintrad kiselkarbid med hög renhet, erbjuder den exceptionell kemisk beständighet och dimensionsstabilitet vid hög temperatur, vilket effektivt motstår korrosion från starka syror, baser och plasma. Dess låga kontamineringsegenskaper säkerställer höga utbyten för LED-epitaxiella wafers, medan dess hållbarhet, som vida överstiger traditionella material, hjälper kunderna att minska de totala driftskostnaderna, vilket gör det till ett pålitligt val för att förbättra effektiviteten och konsistensen av etsningsprocessen.