Vad är TAC -beläggning? - Vetek Semiconductor

TAC -beläggning (Tantalkarbidbeläggning) är en högpresterande beläggningsmaterial som produceras genom kemisk ångavsättning (CVD). På grund av de utmärkta egenskaperna hos TAC -beläggning under extrema förhållanden används den allmänt i tillverkningsprocessen i halvledar, särskilt i utrustning och komponenter som kräver hög temperatur och stark frätande miljö. TAC -beläggning används vanligtvis för att skydda underlag (såsom grafit eller keramik) från skador med hög temperatur, frätande gaser och mekaniskt slitage.

Fysikaliska egenskaper hos TAC -beläggning

Produktfunktioner och fördelar

● Extremt hög termisk stabilitet:

Funktionsbeskrivning: TAC -beläggning har en smältpunkt på mer än 3880 ° C och kan upprätthålla stabilitet utan sönderdelning eller deformation i extremt hög temperaturmiljö.

Fördel: Detta gör det till ett oundgängligt material i högtemperaturhalvledarutrustning såsom CVD TAC-beläggning och TAC-belagd susceptor, särskilt för applikationer i MOCVD-reaktorer, såsom AIXTRON G5-utrustning.

● Utmärkt korrosionsmotstånd:

Funktionsbeskrivning: TAC har extremt stark kemisk inerthet och kan effektivt motstå erosionen av frätande gaser såsom klorider och fluorider.

Fördelar: I halvledarprocesser som involverar mycket frätande kemikalier skyddar TAC -beläggning utrustningskomponenter från kemisk attack, förlänger livslängden och förbättrar processstabiliteten, särskilt vid applicering av kiselkarbidbåtbåt och andra nyckelkomponenter.

● Utmärkt mekanisk hårdhet:

Funktionsbeskrivning: Hårdheten hos TAC-beläggningen är så hög som 9-10 Mohs, vilket gör den resistent mot mekanisk slitage och hög temperaturspänning.

Fördel: Egenskapen med hög hårdhet gör TAC-beläggning särskilt lämplig för användning i miljöer med hög stress, vilket säkerställer den långsiktiga stabiliteten och tillförlitligheten för utrustning under hårda förhållanden.

● Låg kemisk reaktivitet:

Funktionsbeskrivning: På grund av dess kemiska inerthet kan TAC -beläggning upprätthålla låg reaktivitet i miljöer med hög temperatur och undvika onödiga kemiska reaktioner med reaktiva gaser.

Fördel: Detta är särskilt viktigt i halvledartillverkningsprocessen eftersom den säkerställer renheten i processmiljön och högkvalitativ avsättning av material.

TAC -beläggningens roll vid halvledarbearbetning

● Skydda viktiga utrustningskomponenter:

Funktionsbeskrivning: TAC -beläggning används allmänt i viktiga komponenter i halvledartillverkningsutrustning, såsom TAC -belagd susceptor, som måste arbeta under extrema förhållanden. Genom att belägga med TAC kan dessa komponenter fungera under långa perioder i hög temperatur och frätande gasmiljöer utan att skadas.

● Förläng utrustningslivet:

Funktionsbeskrivning: I MOCVD -utrustning som AIXTRON G5 kan TAC -beläggning avsevärt förbättra hållbarheten för utrustningskomponenter och minska behovet av utrustningens underhåll och ersättning på grund av korrosion och slitage.

● Förbättra processstabiliteten:

Funktionsbeskrivning: I halvledartillverkning säkerställer TAC -beläggning enhetligheten och konsistensen i deponeringsprocessen genom att tillhandahålla en stabil hög temperatur och kemisk miljö. Detta är särskilt viktigt i epitaxiella tillväxtprocesser såsom kiselepitaxi och galliumnitrid (GaN).

● Förbättra processeffektiviteten:

Funktionsbeskrivning: Genom att optimera beläggningen på ytan på utrustningen kan TAC -beläggning förbättra processens totala effektivitet, minska defekthastigheten och öka produktutbytet. Detta är avgörande för tillverkning av högprecision, hög-renhet halvledarmaterial.

Den höga termiska stabiliteten, utmärkt korrosionsbeständighet, mekanisk hårdhet och låg kemisk reaktivitet som uppvisas av TAC -beläggning under halvledarbearbetning gör det till ett idealiskt val för att skydda komponenter av halvledarutrustning. När halvledarindustrins efterfrågan på hög temperatur, hög renhet och effektiva tillverkningsprocesser fortsätter att öka, har TAC -beläggning breda applikationsmöjligheter, särskilt i utrustning och processer som involverar CVD TAC -beläggning, TAC -belagd susceptor och AIXTRON G5.

Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd är en ledande leverantör av avancerade beläggningsmaterial för halvledarindustrin. Vårt företag fokuserar på att utveckla banbrytande lösningar för branschen.

Våra huvudproduktserbjudanden inkluderarCVD -kiselkarbid (SIC) -beläggningar, Tantal Carbide (TAC) beläggningar, Bulk SIC, SIC-pulver och SIC-material med hög renhet, SIC-belagd grafit-susceptor, förvärmningsringar, TAC-belagda avledningsring, halvmånaddelar etc., renheten är under 5 ppm, kan uppfylla kundkraven.

Vetek Semiconductor fokuserar på att utveckla avancerad teknik och produktutvecklingslösningar för halvledarindustrin.Vi hoppas verkligen att bli din långsiktiga partner i Kina.