Produkter

Veteksemicon Semiconductor Quartz Screen är en viktig komponent i metallorganiska kemiska ångavlagringssystem (MOCVD), som spelar en avgörande roll för att optimera tunna filmtillväxtprocesser. Denna produktdetaljsida belyser Veteksemicons högenhetskvartskärmar, utformade för att förbättra enhetligheten, renheten och underhållseffektiviteten för MOCVD-utrustning.

Kvarts i hög renhet är en viktig kärnkomponent i avancerade halvledarprocesser, särskilt för applikationer som kräver extremt hög termisk stabilitet, kemisk renhet och dimensionell noggrannhet. Veteksemicon erbjuder överlägsna kvartskorskor med hög renhet som är utformade för att möta de extrema kraven från halvledarprocesser.

Den porösa SIC-keramiska chucken från Veteksemicon är en precisionskonstruerad vakuumplattform utformad för säker och partikelfri skivhantering i avancerade halvledarprocesser såsom etsning, jonimplantation, CMP och inspektion. Tillverkad av porös kiselkarbid med hög renhet erbjuder den enastående värmeledningsförmåga, kemisk resistens och mekanisk styrka. Med anpassningsbara porstorlekar och dimensioner levererar Veteksemicon skräddarsydda lösningar för att möta de stränga kraven från renrumsbehandlingsmiljöer.

Våra kvartskivbåtar är högrenare för hög renhet som är skräddarsydd för halvledare, LED, solcell och batteritillverkningsprocesser. Denna kvartsbåt är konstruerad för att uthärda höga temperaturer och kemiskt aggressiva miljöer och har låg termisk expansion, utmärkt elektrisk isolering och långvarig dimensionell stabilitet. Idealisk för diffusions-, oxidations- och LPCVD -processer stöder den exakt skivinriktning och finns i olika storlekar för att uppfylla olika utrustningskrav.

Vetekemicon Sic Cantilever Paddles är högrenade kiselkarbidstödsarmar designade för skivhantering i horisontella diffusionsugnar och epitaxiella reaktorer. Med exceptionell värmeledningsförmåga, korrosionsbeständighet och mekanisk styrka säkerställer dessa paddlar stabilitet och renlighet i krävande halvledarmiljöer. Finns i anpassade storlekar och optimerad för lång livslängd.

Veteksemicons SIC-block är utformat för högeffektiv slipning och tunnning av kisel- och safirskivor. Med utmärkt värmeledningsförmåga (≥120 W/m · K), hög termisk chockmotstånd och överlägsen slitmotstånd (MOHS ≥9) förbättrar våra block processstabilitet och minskar verktygets förändringsfrekvens. Finns i storlekar från 120 mm till 480 mm, med anpassade alternativ och snabb leverans för att tillgodose olika produktionsbehov.