Produkter

VETEK CVD SiC Coated Graphite Susceptor för Wafer Carrier är en högpresterande wafer-stödkomponent designad för halvledarepitaxiprocesser. Produkten använder högren grafit som substrat och är belagd med ett enhetligt CVD-kiselkarbidskikt (SiC) som ger utmärkt termisk stabilitet, kemisk resistens och partikelkontroll. Som en kritisk grafitsusceptorkomponent stöder den direkt wafers inuti reaktionskammaren och hjälper till att upprätthålla enhetlig temperaturfördelning och stabila epitaxiella tillväxtförhållanden.

VeTek Semiconductor levererar förstklassigt högrent kiselkarbid (SiC)-pulver skräddarsytt specifikt för högavkastande SiC-kristalltillväxt (PVT-process), produktion av halvledarsubstrat och avancerad funktionell keramik. Bearbetat genom ultraren reningsteknologi ger vårt högrena SiC-råmaterial exceptionellt låga spårmetallnivåer, reproducerbar sublimeringsprestanda och mycket konsekvent batch-to-batch-kvalitet för att möta rigorösa krav på halvledartillverkning.

VETEK High Purity Quartz Wafer Boat för TEL-halvledarutrustning är tillverkad av kvartsmaterial av halvledarkvalitet och designad för waferhantering i högtemperaturprocesser som diffusion, oxidation, glödgning och CVD. Med utmärkt termisk stabilitet, kemisk beständighet och låga föroreningsegenskaper ger den tillförlitligt waferstöd för halvledartillverkning.

VETEK porösa TaC-belagda grafitringen är en termisk fältkomponent konstruerad för SiC-enkristalltillväxt via PVT-processen (Physical Vapor Transport). Den är tillverkad av porös grafit med hög renhet och belagd med tantalkarbid (TaC) med CVD-teknik. Designen är inriktad på stabilitet vid hög temperatur, kemisk motståndskraft och kontrollerad termisk fältprestanda. Genom att minimera kontaminering och stödja processkonsistens bidrar denna komponent till reproducerbara SiC-kristalltillväxtresultat.

VETEK CVD Silicon Carbide (SiC) Coated Graphite RTP RTA Carrier är designad för system för snabb termisk bearbetning (RTP) och snabb termisk glödgning (RTA) som används vid halvledartillverkning. Tillverkad av isostatisk grafit med hög renhet med en tät CVD SiC-beläggning, ger den enastående termisk stabilitet, utmärkt temperaturlikformighet, överlägsen kemisk beständighet och ultralåg partikelgenerering. Konstruerad för att motstå upprepade snabba uppvärmnings- och kylcykler, säkerställer bäraren tillförlitligt waferstöd och stabil processprestanda för kiselwafer-glödgning och andra högtemperaturhalvledarapplikationer.

VETEK CVD TaC Coated Susceptor kombinerar ett högrent isostatiskt grafitsubstrat med en tät CVD tantalkarbid (TaC) beläggning för att leverera exceptionell termisk stabilitet, korrosionsbeständighet och låg partikelgenerering för krävande halvledarepitaxi. Designad för SiC, GaN och AlN epitaxiell tillväxt, minimerar den kontaminering, förbättrar wafertemperaturens enhetlighet och förlänger komponenternas livslängd i högtemperatur MOCVD- och CVD-processer.