PECVD -grafitbåt

Veteksemicon är en professionell China PECVD -grafitbåttillverkare och leverantör.

Vilken är rollen som Vetek Semiconductors solcell (beläggning) PECVD -grafitbåt?

Som en bärare av normala kiselskivor som produceras genom beläggningsprocessen har grafitbåten många båtskivor med vissa intervaller i strukturen, och det finns ett mycket smalt utrymme mellan de två angränsande båtskivorna, och kiselskivorna placeras på båda sidor av den tomma dörren.

Eftersom PECVD -grafitbåtmaterialgrafiten har goda elektriska och värmeledningsförmågor, frågas AC -spänningen i de två angränsande båtarna, så att de två angränsande båtarna bildar positiva och negativa poler, när det finns ett visst tryck och gas i kammaren, glödutladdning mellan de två båtarna, glödutlopp kan dekomposera Sih4 och nh3 i det utrymmet, formen är n och glatt. Sinx -molekyler bildas och avsätts på ytan av kiselskiva för att uppnå beläggningen.

PECVD -grafitbåtar används vanligtvis som bärare för att bära kiselskivor eller annat material för att säkerställa säker hantering och transport av dessa material i hög temperatur och plasmamiljöer. Till exempel, i halvledartillverkningsprocessen är Veteksemicons PECVD -grafitbåtar utformade för plasmaförbättrade kemiska ångavlagringsprocesser. Grafitbåten spelar rollen som deponering av kiselnitridskikt (SINₓ) passiveringsskikt och låga dielektriska konstantfilmer (låg-K).

Inom det fotovoltaiska fältet används PECVD-grafitbåtar för att framställa kiselbaserade tunnfilms solceller (såsom amorf kisel A-Si: H) och PERC-cellens bakre passiveringsskikt. Veteksemicons PECVD -grafitbåt optimerar beläggningsprocessen genom att effektivt avstånd från kiselskivor och inducera glödutsläpp för att uppnå enhetlig beläggningsavsättning.

Ännu viktigare är att Veteksemicon kan tillhandahålla anpassade produkter och tekniska tjänster och kan designa och tillverka grafitbåtprodukter med olika specifikationer enligt dina faktiska processkrav. Vi ser uppriktigt fram emot att bli din långsiktiga partner.

Och Fördelarna med PECVD -grafitbåt jämfört med vanlig grafitbåt, klicka bara på