Hur förbättrar TaC-beläggning livslängden för grafitkomponenter? - VeTek Semiconductor

CVD Tantalkarbid beläggningproduceras genom ångavsättning av tantalkarbid (TAC) på ytan av grafitunderlag med hög renhet med användning av Vetek Semiconductors proprietära kemiska ångavsättning (CVD).

Tantalkarbid (TaC) beläggningar förbättrar livslängden avsevärtgrafitdelargenom flera mekanismer, särskilt i hög temperatur, mycket korrosiva miljöer som halvledartillverkning och kristalltillväxt. 

Här är de specifika anledningarnaTaC-beläggningarförbättra hållbarheten hos grafitdelar:

●  Förbättrat motstånd mot höga temperaturer

Extremt hög termisk stabilitet: TAC -beläggningar kan förbli stabila vid extremt höga temperaturer som överstiger 2000 ° C och kan till och med arbeta effektivt vid 2200C. Denna höga temperaturtolerans gör det möjligt för beläggningen att motstå erosionen av smälta metaller och kemiska gaser under halvledartillverkning och därigenom förlänga livslängden för grafitdelar.

●  Utmärkt korrosionsbeständighet

Kemisk erosionsbeständighet: TAC -beläggningar har starkt resistens mot frätande gaser såsom väte, ammoniak och kiselånga, vilket effektivt kan förhindra att dessa gaser korroderar grafitunderlaget och minskar risken för skador på grafitdelar i hårda miljöer. Detta innebär att beläggningen under kristalltillväxtprocessen kan hämma migration av föroreningar och förbättra kristallkvaliteten och utbytet.

● Förbättrade mekaniska egenskaper

God vidhäftning och motståndskraft mot värmechock: TaC-beläggningar har stark vidhäftning till grafitsubstratet, vilket säkerställer att beläggningen inte lossnar eller delamineras under högtemperaturoperationer. Dessutom kan dess utmärkta värmechockbeständighet motstå snabba temperaturförändringar utan att spricka eller flagna, vilket ytterligare förlänger livslängden för grafitdelar.

●  Minska föroreningar

Ultrahög renhet: TaC-beläggningar har extremt låg föroreningshalt, vilket hjälper till att minska föroreningsproblem som kan uppstå under höga temperaturer. Genom att förhindra oönskade föroreningar från att migrera till det epitaxiella lagret, förbättrar TaC-beläggningar avsevärt renheten och kvaliteten på kristalltillväxtprocessen.

●  Optimera värmehanteringen

Förbättra värmeledningsförmågan och resistiviteten: TAC -beläggningar har relativt låg värmeledningsförmåga och resistivitet, vilket gör det möjligt för dess tillämpning i värmare och andra termiska hanteringskomponenter att förbättra energieffektiviteten och minska energiförlusten. Denna funktion förbättrar inte bara driftseffektiviteten, utan minskar också materiell trötthet och skador orsakade av överhettning.