Aluminiumnitrid (AlN) keramisk elektrostatisk chuck

1.Fördelar

• Högren AlN-keramik med värmeledningsförmåga upp till ~180 W/m·K för effektiv värmeöverföring och temperaturjämnhet

• Stark elektrisk isolering och hög volymresistivitet som stödjer stabil klämning vid 1–3 kV (högre spänningar tillgängliga)

• Anpassade dielektriska skiktmaterial och elektrodlayouter: Coulomb eller Johnsen–Rahbek (JR); enkel- eller multizon

• Snabb kläm- och avklämningsprestanda, vanligtvis under 0,1 sekund

• Ytgropar med mikrostrukturer ner till ~300 μm diameter, vilket minskar kontaktytan till så lågt som ~1%

• Hög planhetsförmåga; typisk global planhet i storleksordningen 0,5–3 μm PV för 300 mm klassplattformar

• Tät mikrostruktur med nästan noll vattenabsorption och god kemikaliebeständighet för processmiljöer

2.Typiska applikationer

Aluminiumnitrid keramiska elektrostatiska chuckar används i processsteg som kräver både säker waferhållning och kontrollerat termiskt beteende:

• Torr plasmaetsning (ICP / RIE) och relaterade kammarprocesser

• CVD, PEALD, termisk ALD och andra tunnfilmsavsättningssteg

• Glödgnings- och termiska processmoduler som kräver enhetlig skivtemperatur

• Inspektions-, metrologi- och precisionssteg där låga partiklar och stabil fastspänning är avgörande

3.AlN Materialkvaliteter – Typiska egenskaper

VeTek erbjuder flera aluminiumnitridkvaliteter för att balansera värmeledningsförmåga, mekanisk styrka och kostnad för ESC-konstruktioner:

Enheter: Värmeledningsförmåga i W/(m·K); dielektrisk styrka i kV/mm; volymresistivitet i Ω·cm (25 °C); dielektrisk konstant vid 1 MHz. Värdena är typiska och kan variera med process- och detaljgeometri.

4.Typiska ESC-designparametrar

5.Varför Choose VeTek AlN elektrostatiska chuckar?

VeTek Semiconductor integrerar avancerad AlN-keramik med precisions-ESC-tillverkning för halvledarkunder som behöver både termisk prestanda och pålitlig fastspänning:

• Flera AlN-kvaliteter med värmeledningsförmåga från ~90 till ~180 W/m·K för att matcha processens termiska budgetar

• Flexibel elektrod och dielektrisk design för Coulomb eller JR klämbeteende

• Stram kontroll av planhet, ytmikrostruktur och elektrisk isoleringsprestanda

• Fullständig livscykelsupport: design, nybyggnation och renovering på flera nivåer

För etsning, avsättning och termiska verktyg som är beroende av enhetlig skivtemperatur och ren, repeterbar fastspänning, tillhandahåller VeTek Aluminium Nitride Ceramic Electrostatic Chucks en högpresterande keramisk plattform som backas upp av applikationsfokuserat tekniskt stöd.