Vad är den specifika tillämpningen av TAC -belagda delar inom halvledarfältet?

Fysikaliska egenskaper hos tantalkarbid (TAC) beläggning

Applicering av tantalkarbid (TAC) beläggning i halvledarfältet

1. Epitaxial tillväxtreaktorkomponenter

TAC -beläggning används allmänt i kemisk ångavsättning (CVD) reaktorkomponenter i galliumnitrid (GaN) epitaxial och kiselkarbid (SIC) epitaxial, inklusiveskivbärare, satelliträtter, munstycken och sensorer. Dessa komponenter kräver extremt hög hållbarhet och stabilitet i hög temperatur och frätande miljöer. TAC -beläggning kan effektivt förlänga sin livslängd och förbättra avkastningen.

2. Enkel kristalltillväxtkomponent

I den enskilda kristalltillväxtprocessen för material som SIC, GaN och Aluminium Nitride (AIN),TAC -beläggningappliceras på nyckelkomponenter som CLERBLES, SEED Crystal Holders, Guide Rings and Filters. Grafitmaterial med TAC -beläggning kan minska föroreningsmigrationen, förbättra kristallkvaliteten och minska defektdensiteten.

3. Högtemperaturindustriella komponenter

TAC -beläggning kan användas i industriella applikationer vid hög temperatur såsom resistiva värmeelement, injektionsmunstycken, skärmningsringar och håravbildningar. Dessa komponenter måste upprätthålla god prestanda i miljöer med högt temperatur, och TAC: s värmemotstånd och korrosionsmotstånd gör det till ett idealiskt val.

4. Värmare i MOCVD -system

TAC-belagda grafitvärmare har framgångsrikt introducerats i metallorganisk kemisk ångavsättning (MOCVD). Jämfört med traditionella PBN-belagda värmare kan TAC-värmare ge bättre effektivitet och enhetlighet, minska kraftförbrukningen och minska ytemissiviteten och därmed förbättra integriteten.

5. Skivbärare

TAC-belagda skivbärare spelar en viktig roll i beredningen av tredje generationens halvledarmaterial som SIC, AIN och GAN. Studier har visat att korrosionshastigheten förTAC -beläggningarI högtemperatur är ammoniak- och vätemiljöer mycket lägre än förSic -beläggningar, vilket gör att det visar bättre stabilitet och hållbarhet vid långsiktig användning.