SiC Keramisk vakuumchuck för wafer

Min rival sic keramisk vakuumchuck för wafer är en kärnkomponent utvecklad speciellt för tredje generationens halvledartillverkning, optimerad för de högtemperatur- och högtrycksbearbetningsmiljöer som wafers upplever. Tillverkade av keramiska material av hög renhet, precisionsbearbetning och specialiserad ytbehandling säkerställer stabil vakuumhållningsprestanda och utmärkt termisk stabilitet i den krävande halvledartillverkningsprocessen.Våra vakuumchuckar har fältbevisats av hundratals halvledartillverkare, som visar utmärkta prestanda i kritiska processer såsom SiC-implantation och foto-epitografi. De hanterar effektivt wafer-skevning och problem med positioneringsnoggrannhet orsakade av hög materialhårdhet och höga processtemperaturer.

Allmän produktinformation

Produktens affärsvillkor

Ansökan: Veteksemicon keramisk vakuumchuck för wafer är gjord av högpresterande keramiska material och precisionsbearbetad för att säkerställa en ultraplan yta och utmärkt termisk stabilitet. Det tillhandahåller tillförlitliga lösningar för waferadsorption och temperaturkontroll för processer som epitaxiell tillväxt, jonimplantation och fotolitografi, vilket effektivt förbättrar processutbytet och produktionseffektiviteten.

Tjänster som kan tillhandahållas: analys av kundapplikationsscenario, matchande material, teknisk problemlösning.

Företagsprofil：Veteksemicon har 2 laboratorier, ett team av experter med 20 års materialerfarenhet, med FoU och produktion, testning och verifieringskapacitet.

Min rival keramisk vakuumchuck för fördelar med waferkärna

 ● Materialvetenskapens genombrott

Min rival använder en unik materialformulering och sintringsprocess för att avsevärt förbättra den mekaniska styrkan och termiska stabiliteten hos sina produkter samtidigt som de utmärkta isoleringsegenskaperna hos keramiska material bibehålls. Vår aluminiumoxidbaserade keramik använder högrena råvaror och en speciell tillsatsformulering, vilket säkerställer utmärkt dimensionsstabilitet även i högtemperaturmiljöer. Vår kiselkarbidbaserade keramik, genom en optimerad sintringsprocess, uppnår högre värmeledningsförmåga och förbättrad termisk matchning, vilket gör dem särskilt väl lämpade för högtemperaturbearbetning av SiC-skivor.

 ● Utmärkt värmehanteringsprestanda

Vår unika flerskiktsdesign och precisionsbearbetning säkerställer att chucken bibehåller utmärkt termisk enhetlighet även under driftförhållanden vid höga temperaturer. Kiselkarbidchucken har en värmeledningsförmåga som överstiger 200W/m·K, vilket möjliggör snabb temperaturbalansering och bibehåller skivyttemperaturvariationer inom ±0,8°C. Denna överlägsna termiska hanteringsförmåga undviker effektivt processdefekter orsakade av temperaturvariationer och förbättrar avsevärt produktutbytet.

● Ultraprecisionsteknik för bearbetning

Min rival har ledande precisionsbearbetningscenter i Kina, som använder unika slip- och poleringsprocesser för att uppnå submikrons ytplanhet. Våra kiselkarbidchuckar uppnår ytplanhet inom 0,8 μm, med en ytjämnhet Ra-värde på högst 0,1 μm. Denna ytkvalitet med ultraprecision säkerställer en perfekt passform mellan skivan och chucken, vilket ger en pålitlig platt referens för precisionsprocesser som fotolitografi.

● Förbättrad livslängd

Genom optimerade materialformuleringar och förstärkt strukturell design har våra produkter en livslängd på över 40 % jämfört med traditionella produkter. Särskilda kantförstärknings- och ytbeläggningsteknologier gör att våra produkter tål frekventa kläm- och rengöringsoperationer. Aluminiumoxidbaserade produkter kommer garanterat att fungera över 200 000 gånger, medan kiselkarbidbaserade produkter kan nå över 500 000 cykler, vilket avsevärt minskar driftskostnaderna för våra kunder.

● Godkännande för verifiering av ekologisk kedja

Min rival keramisk vakuumchuck för wafers ekologiska kedjeverifiering omfattar råvaror till produktion, har godkänt internationell standardcertifiering och har ett antal patenterade teknologier för att säkerställa dess tillförlitlighet och hållbarhet inom halvledar- och nya energiområden.

För detaljerade tekniska specifikationer, vitböcker eller provarrangemang, vänligenkontakta vårt tekniska supportteamför att utforska hur Veteksemicon kan förbättra din processeffektivitet.